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半导体器件检验中的结构相似技术 金毓铨 信息产业部电子第五十五研究所(南京、210016) 摘要：本文讨论结构相似嚣件的基本撮念和在检验中运用结构柑似技术的几个问题。 一、 引言 用同一批检验含格的管壳零件生产的不同型号的器件，例如一个系列的电压调整管 可有几十甚至上百个型号(或规格)，是否需要对每仑型号的器件分剐进行可焊性检验 昵?人们自然会想到以一个型号的器件作代表进行可焊性检验或从备型号器件中随机 抽取一组样品进芎亍可焊性检验，就可证明这一系列所有型号器件可焊性是否合格。这就 是最简单的在检验中采用结构相似技术的考虑。这样做无疑即不降低质量保证的有效性 又节省了样品和检验工作量。这对多品种小批量的生产线和系列性豹产品特别有利。 二、 结构相似的基本概念 哪些器件舶检验结果可以互相代表，这些器件的哪些检验项目的检验结果可以互相 代表?这需要标准或相应的文件予以明确，或给出判别的规则，以避免实际操作时的差 异． 国际电工委员会电子元器件质量评定体系(IECQ)首先将结构相似的概念写入了国 际标准。mCQl991年在其《程序规则》(文件号为QC001002)第一版中说“结构相似 元器件是指由同一制造商采用本质相同的设计、材料、工艺和方法生产的元器件，对这 些元器件中的一个型号进行检验的结果对该组中其他型号也有效，但这些元器件又是能 够区分的”。mCQ在其随后制定的半导体分立器件及集成电路的规范中对结构相似的判 别规则和检验程序做了相应的规定，并在以后的标准修改补充中进一步充实。这些内容 己被引入我国国家标准GB／T4589．1《半导体器件分立器件和集成电路总规范》、 GB／T12560《半导体器件分立器件分规范》和GB，r12750《半导体集成电路分规范》。 有些研究结构相似技术的人总觉得IECQ关于结构相似的定义过于简单，总设想补 充某些内容。其实结构相似器件是一个范围根广泛的概念。IECQ的定义并不过于简单， 相反如果写得更原则一些可能更符台实际。在实际工作中结构相似器件的含义是指这样 一些器件：“他们即有相似之处，又能互相区别，对特定的检验内容，一个型号器件的 检验结果可以代表其他器件”。至于不同型号的器件的设计和工艺是否相同或褶似到什 230‘ 么程度，可作为不同型号器件对特定检验内容是否可作为结构相似器件的判别依据，而 不是结构相似的一般要求。整流营和电压调整管的设计和工艺肯定有明显差别，但不影 响他们作为结构相似器件进行可捍性检验。 三、 结构相似的相对性 “相似”本身就是一个有程度之分的具有相对性的词。“相似”趋向于绝对便成了“相 同”，便成了不可区分，也就超出了“相似”的范围。 器件检验中的“相似”，是指对特定的检验内容而言的，是考虑对这些检验、试验项 目来说检验结果是否能台理的互相代表．整流管和电压调整管从芯片设计、工作原理和 特性各方面都有明显差别，但如果两者在相同的组装线上，用相同的管壳零件，相同的 工艺密封，采用相同的外部涂敷和标志材料及打印方法，则对于外形尺寸、可焊性和耐 溶剂性C标志耐久性)等试验项目则可认为是相似的。而对于工柞寿命(电耐久性)等 试验来说，由于他们的管芯设计、工艺、电特性、试验条件和失效判据等都不同，试验 结果不能互相代表，当然是不相似的。可见“结构相似”的相对性。 四、 结构相似的判别规则 在实际检验工作中判别两个型号的器件对某些检验内容来说是否相似，并不一定像 上节的例子这样显而易见。他涉及到检验、试验项目对产品的作用的实质，涉及到不同 型号器件之间本质上的异同点，因而需要在标准或有关文件中规定判别规则，以便于实 施时掌握． 国家军用标准G／B33A《半导体分立器件总规范》的拟制主要参照美国军用标准 MIL．S．19500H。该标准的最初版本成文较早，其中投有关于结构相似的规定。以后几经 惨订，补充了相应的条文，但合理性和可操作性均较差。G】旧33A编制时虽作了一些处 理，但对于结构相似器件含义的表述仍有不合理之处。GJB33A的4．3．1．3条中说：“结 构相似的器件类型是从开始直到最终密封始终是在相同的生产线上，采用相同的制造工 艺，按相同的封装类型、相同的器件设计规则和