材料尺寸属性对薄膜体声波谐振器性能的影响探讨.pdfVIP

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材料尺寸属性对薄膜体声波谐振器性能的影响探讨.pdf

vol 5Pf2 第27卷第5期 声学技术 27,No 2008年10月 TccllⅡ蝴lA洲fl髂 0cl,2008 材料尺寸属性对薄膜体声波谐振器性能的影响探讨 莫绍孟,赵建军,吴光敏,陈剑鸣 (B目&T^}舢女&iE自&目650嘟) The ofthemateriaIandsize the stlldy on pmperty胡kt of FBAR

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