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- 2017-08-12 发布于重庆
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智能传感器技术及相关工艺的研究进展.pdf
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2002 年 第 2 1 卷 第 4 期 传感器技术 Journal of Transducer Technology 6 1
前沿技术
智能传感器技术及相关工艺的研究进展
李守智 , 田敬民
(西安理工大学 电子工程系 ,陕西 西安 710048)
摘 要 : 对智能传感器技术作了扼要介绍 ,概述了其技术特征以及传感器智能化的途径 ,介绍了与智能传
感器设计制造的相关技术 。最后评述了传感智能化的发展前景 。
关键词 : 智能传感器 ; 集成工艺 ; 控制系统
中图分类号 : TP2 12 . 6 文献标识码 : A 文章编号 : 1000 - 9787 (2002) 04 - 006 1 - 04
Development of intell igent sensor technology
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