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带质量块单晶压电悬臂梁的建模与仿真分析_曾琴.pdf
第 卷第 期 湖 北 工 业 大 学 学 报 年 月
２８ ４ ２０１３ ０８
Ｖｏｌ．２８Ｎｏ．４ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＨｕｂｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔ ｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏ Ａｕ ．２０１３
ｙ ｇｙ ｇ
［ ］ （ ）
文章编号 １００３－４６８４２０１３０４００８６０３
－ －
带质量块单晶压电悬臂梁的建模与仿真分析
， ， ， ，
曾 琴 张斯 阳 陈定方 孙 科 陶孟仑
（ ， ）
武汉理 工大学 智 能制造与控 制研究所 湖北 武汉 ４３００６３
［ ］ ， ，
摘 要 基于压电原理 建立了带质量块的单晶压电悬臂梁模型 并运用有限元软件 ＡＮＳＹＳ对其进行模态分析
， ， ， ，
和谐响应分析 研究支撑层厚度电压输出的影响 并进行应力分析 解释产生该结果的原因 最后在此基础上提出
优化模型．
［ ］ ； ； ； ；
关键词 压电悬臂梁 质量块 ＡＮＳＹＳ 应力分析 结构优化
［ ］ ［ ］：
中图分类号 ＴＨ１２２ 文献标识码 Ａ
（ ） ，
随着集成电路 制造技术的发展 低能耗集 本文主要采用该模型对其进行耦合分析 压电
ＩＣ ．
、 、 ，
成电路和 ＭＥＭＳ技术越来越多地被用到电子设备 悬臂梁压电层的长 高分别定义为 Ｌ Ｈ 支撑层
１ １
， 、 、 ，
中来实现节能 压电能量采集器由于其易集成 可适 的长 高分别为 宽均为
． Ｌ Ｈ Ｗ ．
２ ２
， 、 、
用于任何场合 且能量输出密度大 结构相对简单
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