传感器第六章2005.6.13.ppt

第六章 利用电导率与湿度的关系制成， 其中多孔陶瓷材料的种类最多，有：TiO2-SnO2系、TiO2-V2O5 系、 BaTiO3-SrTiO3系、TiO2系、MgCrxO4-TiO2系、SrTiO3系、La2O3-TiO2-V2O5系、ZrO2-Y2O3系等。 高分子电阻型的主要材料为高分子固体电解质材料，如高氯酸锂-聚氯化乙烯、Nafion膜、双二甲胺基甲基乙烯基硅烷和溴甲烷的季铵化物共聚物、四乙基硅烷的等离子共聚膜等等。具有感湿灵敏度高、线性度好、响应时间短、工艺简单、成本低等优点。 利用电极间介质吸附水蒸气时电容量发生变化制成， 按照极间介质分为有机高分子和陶瓷材料两大类。 有机高分子电容式：醋酸纤维素及衍生物为介质，目前醋酸丁酸纤维素、聚酰亚胺、硅树脂为介质。 陶瓷电容式：用玻璃和陶瓷如BaTiO3-BaSnO2 P型半导体多孔陶瓷材料作介质，通过控制陶瓷组分的分散性、孔径、粒度等大大改善了组件的敏感特性。 透光量随湿度而改变的光纤湿度传感器、 在H2O-N2气氛下稳定化ZrO2限界电流型湿度传感器， 还有浓差电池式、二极管型、石英振子式、SAW式、微波式、热导式等新型湿度传感器。 右图在环境温度为80℃，大气中的相对湿度变化时，传感器的电流与电压特性。看出，随着相对湿度的变化，A、B两段的临界电流值变化增大。下图水蒸汽分压PH2O与⊿I的关系，一定范围几乎线性关系，测量精度可达满量程的±1%左右。 相对湿度变化的电流-电压特性 另外，ZrO2固体电解质界限电流式湿度传感器具有优良的耐温特性，因此，可在从室温至100℃以上的高温环境下使用，因而具有优良的选择性和较长的使用寿命。 6.1 概 述 湿度传感器 6.2 电阻式湿度传感器 6.3 电容式湿度传感器 6.4 其它类型湿度传感器 6.5 湿度传感器的应用实例 6.5.1 湿度传感器在电路中的接口 6.5.2 湿度/电压转换电路 6.5.3 实用电路 对于不同环境的湿度测量应选用不同的传感器。如当温度在-40℃～70℃时可用高分子湿度传感器和陶瓷湿度传感器；在70～100℃和超过100℃时用陶瓷湿度传感器。为使传感器准确稳定地工作，需附加自动加热清洗装置。下面介绍几种典型的应用实例。 一、连接方式 1.对数变换电路 传感器的电阻RS呈指数函数关系，可用二极管的电压-电流特性进行对数变换。图为实际变换电路。运放TLC272的输出端接1kΩ的电阻用于防振。 此电路适用于幅度变化范围较大的传感器，例如高分子湿度传感器，此处二极管的温度特性与湿度传感器的湿度特性相互补偿情况。 2.电阻非线性校正方式 对电阻变化幅度较小的传感器，可将传感器与电阻串联连接（常用热敏电阻兼作温度补偿）来进行非线性校正，如图。湿度传感器电阻Rs输出电压Vout变化可用电阻RA、RB和RC使其线性化。 用电阻来改善线性 3.其它方式 用相位检波方式可减少噪声，扩大动态工作范围，把湿度电阻值变化转换为电压。另外，将湿度传感器作为振荡电路中的一个组件，根据有无振荡与频率变化可求得相应的湿度。 二、信号源与信号处理 1.信号源 图为双T型振荡电路，改变电路中R2或C1与C2，就可改变振荡频率，R3用于改变振幅。 2.交直流变换电路 采用交直流变换电路可把湿度变化转换为相应的直流电压变化，适用于中等湿度范围。在较低湿度时其变化率较小，在高湿度时会出现饱和状态，显然不是直线关系。 3.折线近似电路 要采取放大倍数随输入值变化的放大电路，使其输出与输入关系为线性关系,如图。A1、A2、A3、A4都是LM324。 1、采用简单的开关电容网络电路。图为一反相器，电阻R1、R2、R3用开关电容替代，等效电阻与时钟频率f和C乘积的倒数成比例，即为1/fC。如果f1=f2=f3=f，C1=C3，则输出电压U0为 ： 湿度/电压转换原理电路 若用湿敏电容替代C2，用湿敏电容检测湿度，则U0为C2的单值增加函数。适当设定U1值，当湿度为0%RH时可使U0=0。 6.5.2 湿度/电压转换电路 2、湿度/电压转换实用电路 输出端可获得与相对湿度一对应的直流电压。调整如下：反复调整RP2使5%RH时输出电压为0.05V，调整RP1使90%RH时输出电压为0.9V。这样，对于湿度为0%～100%RH时输出电压为0～1V。 6.3.1 多孔Al2O3—陶瓷电容式湿度传感器 6.3.2 高分子电容式湿度传感器 6.3.3 集成电容式湿度传感器 一、多孔湿敏电容模型 基于单元气孔的平行板电容器效应，结合理想结构模型、吸附模型，建立不同湿度下的