柔性变焦镜的理论计算和设计X.pdfVIP

　第 11 卷　第 2 期 强 激 光 与 粒 子 束 . 11, . 2　 V o l N o 　1999 年 4 月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S A p r. , 1999　 ( ) 文章编号: 　1001- 4322 1999 02- 0189- 06 柔性变焦镜的理论计算和设计 陆肖元, 张耀宁, 程祖海 (华中理工大学激光技术国家重点实验室, 武汉 430074) 　　摘　要: 　设计了由压电陶瓷施压的柔性变焦镜的结构。根据弹性力学建立了相应的数学 模型, 采用有限元法计算了镜面受力的挠变形值。当柔性变焦镜最大挠度为 9m 时, 镜面的曲 率半径从 610 变至 590 , 此时采用环形筋条结构的反射镜镜面和理想球面的面形偏差 mm mm PV 值仅为 1m , 面形相对偏差为 0. 3% 。 　　关键词: 　柔性变焦镜; 压电陶瓷; 有限元法; 面形偏差 　　中图分类号　 256　　　　文献标识: 　 TN A 　　柔性变焦系统是一种新型的激光传输聚焦系统, 它不仅可应用于大功率激光加工系统中, [ 1 ] 对强激光发射系统的快速调焦也有良好的应用前景 。柔性变焦系统中柔性变焦镜的设计是 系统设计的关键。在一般情况下, 由于采用薄板理论对镜面变形进行计算, 柔性镜多被设计为 [ 2 ] 薄板形状, 加压方式也多采用冷却水均匀压力的方式 , 这种方式存在的问题就是镜面变形的 反应时间受水压改变时间的限制: 由于水压是通过可控制阀门调节, 而阀门为了实现精确定位 一般由步进电机带动, 满开度时间为 30～ 60 秒, 所以水压改变的时间在秒级, 如果使用压电陶 瓷进行压力控制, 反应时间与电反应时间相当, 这个问题将得到解决。本文对复杂形状的反射 镜引入了有限元法进行变形的理论计算, 并设计分析了几种镜面。 1　理论计算 　　应用中的反射镜为圆形, 其几何形状和所 受的载荷和约束都是轴对称的。采用柱面坐标, 取对称轴为 轴, 任一对称面为 面。进行有 z rz 限元分析时采用轴对称三角形截面的环单元, 它是由在 rz 平面上的三角形 ijm 绕对称轴 z ( ) 回转一周得到的, ijm 即为单元结点。 如图 1 相邻的单元棱边互相连接, 整个研究对象可以 分成 ne 个三角形环单元。 F ig. 1　T he circle elem ent of a triangle 图 1　三角形环单元 1. 1　三角形截面环单元