光纤束共焦显微成像.pdfVIP

第32卷第5期 南昌大学学报(理科版) V01．32No．5 of Oct．2008 2008年lO月 JournalNanchangUniversity(NaturalScience) 文章编号：1006一0464(2008)05—0431-04 光纤束共焦显微成像 马 力，袁冠伟8，赖秀娟“，戚小平8 (南昌大学a．理学院；b．机电学院，江西南昌330031) 摘要：在光纤共焦显微系统理论的基础上，结合普通并行共焦理论和抽样定理，研究光纤束共焦系统的有效点扩 散函数，得出光纤束共焦系统的光场分布情况。根据光纤束共焦系统的有效点扩散函数和光纤柬中光纤的排列特 点，分析光纤束共焦显微系统成象质量的影响因素。结果表明光纤束的光纤间距与物镜的放大率决定了系统的横 向分辨率。 关键词：光纤柬；共焦显微镜；扩散函数；间距 中图分类号：TN247 文献标识码：A Minsky早在50年代就率先提出共焦扫描成像光路系统。假设照明光纤E和集光光纤兄的二维 的思想。随后Sheppard和Gu等人对共焦系统理论振幅模式包迹分别为工(r)和五(r)。r是光纤截面上 做了系统的研究¨“J。研究表明：共焦显微系统因 的空间坐标。根据光纤共焦系统的成像原理…，光 为可以抑制成像中弱杂散光的影响，因此在相同成 纤共焦系统的有效点扩散函数： 像条件下，其横向分辨率比普通显微系统更高。更 重要的是，共焦系统具有良好的光学层析能力，在三 My)@2h2(r)] (1) 维显微成像中具有独特优势，因此在现代医学、材料 矗 学、生物学和半导体芯片检测等亚微米技术领域有 U．I 着广泛的应用∞J。但是一般的针孑L式共焦测量系 横向放大率。式(1)中忽略了一个相位项。从系统的 统，以及为了提高成像速度和光能利用率而设计的 有效点扩散函数分析，可以把总的系统分成两个子 微透镜阵列、针孔阵列、集成光纤束面板等并行共焦 系统，即照明光纤到物体之间的照明子系统和物体 测量系统怕。9J，它们仅能对物体的表面形貌、透明物 到探测器之间的集光子系统，它们的点扩散函数分 体、半透明物体(如生物样品)进行检测，对于物体 别可写为： 内部或深孔等狭小空间的检测，却难以实现。 h’。(r)=^(Mx，My)02h。(Mr)(2) 把光纤应用到共焦系统中能很好的解决不能深 (3) h’2(r)=石(Mx，My)@2h2(r) 入物体内部的问题。但是大部分的光纤共焦显 从式(2)和式(3)可以看出，光纤共焦系统的子系 微[1刚系统都是采用机械扫描的方式获得全场图像， 统的点扩散函数就是光纤二维振幅模式包迹对普通 这种扫描方式有着成像速度慢，光能利用率低的不 点扩散函数的调制。因此，光纤共焦系统的三维有效 足。为此，Pierre等人把光纤束应用到共焦显微系振幅点扩散函数可以简写为： 统中，通过光纤束获得并行扫描的效果…o。本文在 7：(r) (4) h酊(r)=h’。(r)h 单光纤共焦显微系统成像理论的基础上，进一步扩 光纤共焦系统的光学传递函数就是对式(4)作傅立 展分析光纤束共焦显微系统的成像特性。 叶变换，即： 日∽=FT