具有多运动自由度的新型多功能微镜.pdfVIP

第 26 卷 　第 4 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 26 　No . 4 2005 年 4 月 　　 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S 　　Ap r . ,2005 具有多运动自由度的新型多功能微镜 余洪斌 　陈海清 (华中科技大学光电子工程系 , 武汉 　430074) 摘要 : 基于多层硅表面微加工技术 ,设计并制造了一种全新的微镜结构 ,它由底电极层 、支撑层和镜面层构成. 支 撑层采用对称布置的双 T 型梁结构 ,能提供垂直方向的平动和绕两水平轴的转动 ,从而实现微镜对入射光的强度 μ 调制和相位调制功能. 测试结果表明 ,微镜能获得最大 2 m 的平动范围 , 同时其绕两水平轴的转动角度分别为 ± 23°和 ±145°. 此外 ,通过进一步增大牺牲层的厚度 ,可以很容易地使微镜获得更大的变形范围. 关键词 : 微机电系统 ; 微镜 ; 相位调制 ; 强度调制 ; T 型梁 EEACC : 4 180 中图分类号 : TN 303 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 02534 177 (2005) 1 　引言 2 　结构设计和分析 近年来 , 基 于硅微加 工技术 的微机 电系 统 本设计的微镜结构如图 1 所示. 它有三层结构 : ( ) M EM S 在光学领域的应用研究越来越受到重视. 最上层为镜面主体 ,为提高反射率 ,通常还会溅射一 其内的组成器件通常具有与光波波长可 比拟的尺 层 A u ; 中间为支撑层 , 由两个对称分布的 T 型梁结 寸 ,且能充分利用现有的半导体加工设备和成熟的 ( ) 构 图2 所示 所构成 ,其中沿 x 方向放置的梁的两 加工工艺 , 以较低的成本进行批量生产. 此外 , 由于 端与镜面相连 ,起到支撑作用 ,而垂直梁一端则固定 ( 各组成部件具有较小的惯性 这是由较小的质量决 在支撑柱上 ,并通过其与衬底相连 ;最底层为驱动电 ) 定的 ,因而可以对其实现精确的定位. 极 ,通过控制通电电极的数 目、布局及施加电压的大 微镜是其中最典型的一个代表 ,近来已有很多 小 ,可获得特定的镜面运动形式. 研究机构相继提出了不同类型的微镜结构 ,用以实 现光学显示 、激光扫描 、光开关 、光互连和 自适应光 学校正等功能[ 1～9 ] ,如文献 [ 10 ] 中利用微镜在垂直 方向上的活塞式运动对入射光进行相位调制 ,而德 ( ) 州仪器公司生产的数字微镜器件 DMD 则是利用 [ 1 ] 镜面的转动来实现强度调制的 . 但一个显著的特 点是 ,这些微镜通常只具有某一方向上的自由度 ,因 而只能实现单一的功能 ,这就极大地限制了它的应 用范围. 图 1 　微镜结构示意图 正是基于此种考虑 ,本文提出了一种全新的基 Fig . 1 　Schematic