一种基于滑膜阻尼效应的新型微机械陀螺.pdfVIP

一种基于滑膜阻尼效应的新型微机械陀螺——陈　永　焦继伟　熊　斌等 一种基于滑膜阻尼效应的新型微机械陀螺 陈　永　焦继伟　熊　斌　车录锋　李昕欣　王跃林 　　 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 上海, 200050 　　　　摘要: 介绍了一种基于滑膜阻尼效应的新型音叉式微机械陀螺。该陀螺 包括两个驱动质量块和由各自驱动质量块支撑的检测质量块, 通过检测质量 块上的栅形电极与玻璃衬底上的固定检测电极之间的电容变化实现角速度 信号的检测。对陀螺进行了结构设计和分析。在陀螺芯片的制作过程中, 解决 了深反应离子刻蚀过程中的根部效应和滞后效应等问题。初步测试结果表 明, 该陀螺灵敏度和非线性度比较理想。 关键词: 微机械陀螺; 体微机械加工; 栅形电极; 滑膜阻尼 陈　永　博士研究生 中图分类号: T P 212. 12　　　文章编号: 1004- 132 (2004) 02- 0103- 03 A Novel M icromach ined Gyroscope Ba sed on Slide- f ilm Dam p ing Effects 　 　 　 　 　 Chen Yong J iao J iw ei X iong B in Che L ufeng L i X inx in W ang Yuelin Shanghai In stitu te of M icro system and Info rm ation T echno logy, Ch inese A cadem y of Sciences, Shanghai, 200050 Abstract: A novel tun ing fo rk gyro scope, based on silicon bu lk m icrom ach in ing techno logy , w as repo rted. T he gyro scope con sists of tw o o scillating m asses each of w h ich suppo rts one sen sitive m ass . w ith bar electrodes T he Co rio lis fo rce led by angu lar speed app lied to the device w as sen sed by the differen tial changes of capacitances betw een the bar electrodes and the electrodes on the glass sub . strate T he dam age cau sed by the comm on foo ting effects and lag effects in deep reactive ion etch ing . had been im p roved sign ifican tly T he m easu rem en t sen sitivity of the sen so rs and the non linearity are . very ideal Key words: m icrom ach ined gyro scope; bu lk silicon m icrom ach in ing; bar electrodes; slide- film dam p ing 0　引言 的Q 值和灵敏度。整个陀螺结构采用体微机械加 微机械陀螺通常采用静电驱动和电磁驱动方