压渗法制备Mo／Cu梯度功能材料.pdfVIP

维普资讯 第 58卷 第 l期 有 色 金 属 Vo1．58．No．1 2006年 2月 NonfcrrousMetals February 2006 压渗法制备 Mo／Cu梯度功能材料 陈文革，沈宏芳，刘 兴 (西安理3-大学 材料学院，西安 710048) 摘 要 ：采用背散射扫描电于显微镜对压渗法制备 Mo／Cu功能梯度材料的组织结构进行观察，测量与分析其密度、硬度、电 导率及热疲劳性能。结果表明．在 l100℃，IOMPa的作用力下于H2中保温2h，可制备出Cu含量 1O％～5O％的Mo／Cu梯度功能 材料。显微组织呈梯度性变化，各过渡层较其他烧结工艺具有更高的致密度，可达理论密度的98％以上。梯度层的硬度随铜含量 增加呈线性降低。所得 Mo／Cu梯度功能材料的整体电导率高，抗热疲劳性能好。 关键词 ：金属材料；Mo／Cu合金；热压烧结；梯度功能材料 中图分类号：TG146，412；TG113．12；TB34 文献标识码 ：A 文章编号：1001—0211(2006)01—0010—05 Mo／Cu系梯度功能材料 (FGM)一面是具有高 99．9％，铜粉粒度54~／m，纯度大于 99％。将一定量 导电导热性的金属铜，一面是具有耐高温性、抗热震 的钼粉和铜粉，在无水乙醇介质中混合研磨均匀。 性和低热膨胀系数 的金属钼，中间是沿厚度方 向成 干燥后，按图1设计的混合 比准确称取各组分含量 分逐渐过渡变化的钼铜复合层。这种材料的优点是 的混合料，依 次铺 叠于钢模 中冷压成 型，得 到 能够很好地缓和钼、铜热性能不匹配产生的热应力， ~14mm×10mm 的生坯 ，压力为 98kN。然后将此生 在材料的整体性能上，具有较好的导电导热性能、力 坯放入图2所示的热压炉中烧结。为防止烧结过程 学性能、耐腐蚀及抗热震性能等，使钼和铜组元的特 中试样的氧化，用氢气作为保护气氛。 性得 以体现，从而能够承受很大 的热变功和机械应 [=== —— 90％~b+ 10％( 力[卜 。因此，钼铜复合材料可被用作大规模集成 电路和大功率微波器件中的基片、嵌块、连接件及散 堑i璺五曼 ,Cul一一三；=8700％％MMb0++23O0％％CCuu 粉料依次铺叠．模压成型 l 匕=； 60％Ⅳb+40％0J 热元件等。它的高导热、导电性能及耐热性能极大 亡===】l 50％Ⅳb+50％Cu 地提高了器件的使用功率，使器件微型化，适合的热 图 1 热压烧结 Mo／CuFGM 的铺层设计 膨胀系数可 以与微 电子器件中硅片，砷化镓、氧化 Fig．1 PreparationofMo／CuFGM 铝、氧化镀等半导体材料进行 良好地匹配封接 ，避免 了热应力引起疲劳破坏l8 ¨。 Of Kte 虽然梯度功能材料的制备方法很多，但就Mo／ pressed Cu系梯度功能材料而言，尚未有成功的制备技术， 存在的问题依然是各层显微组织结构和成分分布不