2015编号：ZB2015086.docVIP

编号：ZB2013086 装备制造关键技术研究项目 （2013年中央财政支持地方高校发展专项） 工程装备可靠性及失效机理研究A包 招 标 文 件 河北工程大学 2013年10月25日 第一部分 招标公告 河北工程大学装备制造学院现就“装备制造关键技术研究项目（2013年中央财政支持地方高校发展专项资金）?工程装备可靠性及失效机理研究A包”采购项目进行公开招标，欢迎具有法人资格，并有能力按照项目要求提供优质产品及服务的投标单位参加。届时将根据各投标单位的企业信誉、生产经营实力、产品质量、业绩、价格及售后服务等因素进行综合评审，择优确定中标单位。 招标文件编号：ZB2013086 2、招标项目名称：装备制造关键技术研究项目?工程装备可靠性及失效机理研究项目 3、资格预审及报名时间：详见招标公告 4、招标文件售价：每份500元人民币（现金），售后不退。 5、投标保证金：人民币现金伍万元整，开标现场交纳。 6、资格预审项目内容：①营业执照原件；②组织机构代码证原件；③税务登记证原件；④产品代理或经销产品授权书 7、标书递交及开标时间、地点：详见招标公告 8、投标联系人：常建军 王锡忠 电话：0310-8579086；0310-8579788 9、技术联系人：郑立允 电话：0310-8577971 手机号 第二部分 商务标及投标要求 一、投标基本条件要求： 1、具有法人资格、有生产或供应能力的企业单位，标文件及资质审查文件各项规定均可参加标，但中标后不得转包。具有该品牌设备的生产或代理经营资格。、标文件说明 标单位参加标，按河北大学规定的时间、地点购买文件，承认并履行文件中的各项规定，按规定格式填写投标河北大学。 四、投标文件编写投标报价应为维护自己的利益，对报价应严格保密，串通报价的投标单位将被取消投标资格。、投标投标文件的密封与标。 将投标书正副本共份及其它投标文件装入投标密封内密封，封口处投标单位公章，封皮上写明、投标项目。此密封文件将在开标大会上当众启封、标。未按本须知要求密封、标志和投递的投标文件，将作为废标处理。投标文件的修改和。 投标文件在标之前，招标方允许对投标进行补充或修改，但须由投标方授权代表签字后方为有效。在标后投标文件不得修改。、开标及评标。 评标委员会根据原则，资质审查标文件、投标文件、投标方对投标内容的澄清文件等，均为签订经济合同依据。自开标之起到中标通知发出之后止，投标单位不得就评标内容向河北大学评标委员会成员及有关人员进行询问；河北大学相关人员亦不得泄露评标有关内容，泄露者将被追究责任。投标单位进行力图影响评标结果的不符合招标办法的活动，被取消中标资格。参加投标活动的各单位必须遵纪守法，严禁不正之风，不得哄抬标价，不得损害国家和他人利益，否则取消其投标资格。 河北大学为切实维护和投标商双方利益，欢迎参加投标活动人员对招标工作进行监督并提出改进意见。本招标文件解释权属河北大学。.0x10-7 Pa.l/S； 系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，40分钟可达到6.6x10-4 Pa； 停泵关机12小时后真空度：≤1 Pa； 系统主要由溅射真空室、磁控溅射靶、基片水冷加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成； 、溅射真空室组件 1套 圆筒型真空室尺寸Ф450mm x350mm，电动上掀盖结构，可内烘烤100～150℃，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封； 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下： 、CF100法兰接口：1个（观察窗口）； 、CF63法兰接口：1个（观察窗口）； 、CF10法兰接口：3个（进气管路、放气阀）； 、CF150法兰接口：1个（分子泵）； 、CF100法兰接口：3 个（磁控靶接口） 、CF35法兰接口：6个(电离规、旁抽口、陶封引线、3个备用) 、RF25法兰接口：1个（基片挡板）； 、CF16法兰接口：1个（备用）； 、CF16法兰接口：1个(规)； 、磁控溅射靶组件 3套 、靶材尺寸：Φ75mm（其中一个可以溅射磁性材料）； 、永磁靶：射频溅射与直流溅射兼容，靶内有水冷； 、电动控制挡板组件：1套； 、靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染(非共溅时安装使用)； 、三个靶可共同折向上面的样品中心，靶与样品距离90～110mm可调；当直接向上溅射时，靶与样品距离40～80mm可调，并有调位距离指示。 、单基片水冷加热台组件