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2017-08-11 发布于重庆
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微加工薄膜变形镜特性分析.pdf

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微加工薄膜变形镜特性分析.pdf

第卷第期强激光与粒子束 , 18 7 Vol.18 No.7 年月 , 2006 7 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS Jul.2006 文章编号: ( ) 1001-4322200607-1099-05 微加工薄膜变形镜特性分析* , 1 2 1 1 1 1 李恩德 , 段海峰 , 戴云 , 蒋鹏 , 张雨东 ( 中国科学院光电技术研究所,成都 ; 中国科学院研究生院,北京 ) 1. 610209 2. 100080 摘要: 借助测量微加工薄膜变形镜驱动器的面形影响函数,分析了驱动器的电压位移函数和驱动器 - 之间的线性叠加性;通过对连续面形变形镜拟合像差的理论分析和实验研究,建立了微加工薄膜变形镜电压解耦模型。分析了对前阶模式的拟合残差和拟合能力,指出微加工薄膜变形镜仅可用来拟合低级像 36 Zernike 差并且有较大的拟合能力和较小的拟合残差,而不能拟合高级像差。关键词: 自适应光学; 微加工薄膜变形镜; 拟合能力; 干涉仪中图分类号: O439 文献标识码: A 变形镜是一种可以在外加电压作用下改变表面形状的光学镜面,通过控制外加电压使经它反射的光束产生所需要的拟合量,达到补偿波前的目的。变形镜作为一种常见的波前校正器,在自适应光学系统中是必不可 [ ] 少的关键器件 1 。能动可变是变形镜区别于其它常规光学元件的独特的特点,正是这种特点使其在自适应光 [ ] 学系统中能够实现校正波前相位畸变,提高光束质量 2-4 。 [ ] 目前自适应光学系统采用的变形镜主要有压电陶瓷变形镜5 、微加工薄膜变形镜( micormachinedmem- [ ] [ ] 6 7 , ) 、液晶等,工程应用较多的