基于∑-△M的五阶MFLR数字微加速度计闭环控制系统.pdfVIP

120 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 2014年 第33卷 第 12期 DOI：10．13873／J．1000-9787(2014)12--0120--04 基于 一AM 的五阶MFLR数字微加速度计 闭环控制系统半 杜松杰，苑伟政 ，陈 方，常洪龙 (西北工业大学 空天微纳系统教育部重点实验室，陕西 西安710072) 摘 要：为了进一步抑制加速度计信号带宽范围内的噪声 ，提出并设计了一种基于 ．AM的五阶多反馈 谐振式(MFLR)微机械加速度计闭环控制系统，该系统通过增加额外的内部负反馈对量化噪声进行再一 次整形。微机械加速度计结构为一种全差分式结构，在结构层厚度为6O m、基底层厚度为400I,zm的SOI 硅片上 ，经过光刻、溅射、深度反应离子刻蚀等工艺步骤加