GaN单晶衬底的物理性质及同质外延层.pdfVIP

第 卷 第 期 半 导 休 情 报 , 年 月 单 晶衬底 的物理性质及 同质外延层 等 摘要 最近 , 在 压 力 为 下 , 从 液 溶 液 中生 长 了高质 蚤 的 、 透 明、 无 色 、 晶片 。 本文 阐述 了这 些 晶体 的 结构及 电学和 光 学性 质 。 在用 。 外延 生 长 同质 时 , 这些 晶休被 用 来作 为衬 底 通过掺 杂 和 。 获得 型和 型层 在低 温 下 , 已发现 分别 与来 缚 中性 受主 和 两 个 中 性 施 主 激 发 相 关 的 强 而 窄 的 一 和 的 线 , 已用 于 昨掺 杂 层 。 在 同质 外延生 长 一 结 中 已检 浏 出紫外近边 带 电致 发 光 。 引言 ① 表 面上 层 的成核 与生 长 最近 , 与他 的小组证 明 , 甚 至 在 ② 由于 温度 梯 度 使氮 转移 溶液冷 区 中 同质外 延生长 层衬底 上 也能制造 出 晶体 的成 核与生长 。