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一种可用于原子全息光刻的二元计算全息新方法.pdf
第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ,
18 4 Vol.18 No.4
年 月 ,
2006 4 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS A r.2006
p
文章编号: ( )
1001-4322200604-0671-04
一种可用于原子全息光刻的二元计算全息新方法*
1 2 1 1
彭仁军 , 陈献忠 , 王艳平 , 吴 健
( 电子科技大学光电信息学院激光雷达实验室,成都 ;
1. 610054
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都 )
2. 610209
摘 要: 原子全息光刻即采用二元计算全息片掩模来操纵原子,实现微细结构的制作。传统二元计算全
息产生的全息片在重现时会产生不止一个实像,这对于原子全息光刻的操作是不利的。提出了一种非相位编
码的方法,该方法利用基元函数叠加方式产生实的编码前全息图,再利用类似罗曼 型的编码方式产生二元计
Ⅲ
算全息图。模拟结果表明,利用该方法产生的掩模板可以产生单一的同原始图案相对应的微细结构。
关键词: 原子全息光刻; 二元计算全息; 编码; 微细结构
中图分类号: O438.1 文献标识码: A
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玻色 爱因斯坦凝聚 和原子激光的的实现 ,为原子光学打下了坚实的基础。具有相干特性的冷却原子
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束具有同光波相似的特性,使全息技术同样适用于原子 3 。利用原子束生成全息,再用光读出的方法已有报
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道 。 等人则研究了利用全息掩模操纵原子的技术 。利用全息操纵原子,在基片上堆积原子产生微
Fuita
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