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中国航空学会 控制与应用第斗+三届学术年会7一07 工程受限情况下微机械加速度计校正电路设计 胡溟董景新刘云峰万蔡辛 清华大学精密仪器与机械学系北京100084 摘要梳齿式微机械加速度计是一种敏感电容极板间距变化的电容式传感器，通过静电力反馈构成力平衡式的闭环 系统。为了满足稳定性、快速性等要求，需要采用校正电路。但在工程中，由于微机械加工工艺不稳定，造成微机 械表头性能具有较大的离散性。本文根据控制理论结合工程试验，给出了针对不同参数进行表头校正电路设计的方 法。其主要内容是通过微机械表头的转角频率和低频增益对敏感结构进行分类校正，使系统在满足带宽的前提下在 全量程范围内具有要有良好的稳定裕量。并且为了适应工程应用，电路采用两级运放的简单形式，为电路冗余设计 提供了方便。通过较多数量的试验验证，此种方法对闭环系统的稳定性、带宽有很好的控制作用。 关键词微机械加速度计校正电路冗余设计运算放大器 梳齿式微机械加速度计是一种敏感电容极板间距变化的差动电容式传感器，通过静电力反馈构 成力平衡式的闭环系统。如图1所示，微机械表头在闭环系统中为一典型二阶振荡环节。n1因为微 机械加工工艺不稳定，敏感结构的固有特性具有较大的离散性，这就造成加速度计闭环系统稳定性 差。解决这一问题的办法就是需要根据不同的敏 敏感元件 检测电路 校正环节 感结构特点来设计校正环节。 1微机械表头的离散性 由微机械表头的传递函数可以得到其幅频特 性曲线在CO对数坐标下的斜率变化情况，如式l 图1微机械加速度计的系统框图 和图2中曲线所示。于是，可以按照0dB／dec． -40 一一20dB／dec． dB／dec．的三段模型近似其幅频特性曲线， 两个转折点位置分别为0．4∞n和2∞n。 4缈4+(4f2丁2—2丁2)仞2+l…………，1、 鬻-lOgodlgo．J啬T筹端……“，， 微机械表头的幅频特性的三个参数主要影响系统性能：低 频增益、转角频率(-3dB频率)、阻尼比。由于在微机械加工中， 图2表头幅频曲线斜率在 大深宽比的微结构工艺不够成熟和稳定，造成决定表头机械刚 u对数坐标下的变化 度的悬臂梁厚度难以保证(如图3所示)。所以，每批微机械表 头成品中，低频增益和转角频率这两个参数都具有很大的离散 性。 以某批79块表头为例，其微机械表头连同检测电路(比例 环节)的各项参数设计值为：低频增益为-17dB、转角频率为 1．6Kttz。但经过逐块频率扫描试验测试得到的结果分析，其转 角频率和低频增益两个参数基本形成正态分布，差别很大。转 角频率分布从400Hz到3200Hz，相差八倍；其低频增益分布从 图3微机械表头结构和悬臂梁位置 中国航空学会 控制与应用第十三届学术年会7一07 OdB到一20dB，相差10倍，均具有较大的离 {m№m帆艟自H∞证H∞4Hmd“目 z#女微帆№日m∞#抽目$”mⅡi目 散性。分布如图4所示。 } 2工程条件受限的校正电路设计i 微机械表头的幅频特性具有很大的离 散性。显然，如果在闭环系统中使用同一种 校正参数就会造成相当数量的系统不能稳 图4某批微机械表头转角频率和低频增益分布直方图 定工作，并且在工程中不能满足带宽统一的要求。 在满量程工作时，由于机械结构刚度减弱，稳定 性变差，系统的稳定性就更不容易保证。 更为重要的是，在工程应用中，加速度计电路板尺寸、图纸都已经固定，空间、器件都受到限 制：在本项目中，只能有