64×64+InSb凝视焦平面探测器技术的研究.pdfVIP

64x64InSb凝视焦平面探测器技术研究 赵建中 (垡北光电美术研冠所．北京，100015) in：。疑观j．t-一面搽吾j浯’玎：-T‘}：奠一些闫露j兰是对I墨j 捕委：本i礓墨乏两笔轻在64×64 c疑强焦平虚美蕊罨§ 焦平面探测嚣的研亢进露， 一1f：s；i7二3 关键词： 6i、il，lnSb，iP、 前言： l?。：弁j：， 趋成熟．己j不少产品转入实，H 炙量。：这j．百的≯毫起步较魄，仅仅氓”九五”真正开始撮 视焦平面搽没；器奇：]研宄， 怍乃止：～j“，。支嚣州一“主要发翟育向，一主受到人口：的重视，现将我们 在”丸五”前两拒。，{于in一b凝醴j髻#耍捧；：．!j-j．。xz上：!鹚台故t研究中一些进展总结一下， 一．总体设计目标． 1．规模：64x64 o．：×一：jlⅧ 2，像元闰距R0u口x蛳_一。啜元天寸76 3．探测器类型：光伏风测器 4．探测器【艺’台面．P一、In-N扩敖结 5．R0工芝：51日co}Is：：芝 6．输八结构CTI^ 7．工作模式：茹行行积衍 8．工作顿率：小于150Hz 9．工作温度：77K 10．视场角：30。 ¨．探测器尺寸：75rnm×9，5ram 二．关键技术 1．1nSb探测器阵列的研制 中采用了复舍钝化的方法，馒探测器阻抗及绝定性摄到较好韵保证 InSb的探测器阵列芯片。井己研制出l：8×128探测器芯片 2．硅信号处理电路的研制 作为凝视焦平面技术的一个主要．_琏避，硅信号处理电路的水平直接影响着探测器性能．在经过单元 对探测器参数的要求，与目前工艺能够很好的匹配，为了提工作频率，采用并行工作模式，在保证々定 的积分时间下，帧频可以达到150帧．醚信号处理电路采用5岫C0bIS标准工艺加工。 62 翻 因此为了 度小于少子扩散长夏，目 尊经过反复实验，已很好的掌握了将衬底减薄到15～20岫技术，同时，使表面损伤降到最小a 三探测器样品性能 目前已研制出多只64×64InSb凝视焦平面探测器样品．性能如F： 平均探测率：一5x10’cmitz”‘／W 平均响应率：一1×10～／W 响应率不均匀性：一30％ 无效像元百分率：一蹦 利用研制的64x64探测器样品，进行了实验室演示成像，器件视场30“．帧领25Hz．液氯制冷，对 人体等室温目标可成出清晰的热图象一7见图IJ，估测噪卢等效温差为0．5Ci ■ 圈l 四．结论 经过短短两年的研究工作，研制出64x64 InSb凝视焦平面探测器，虽然性能距实用还有一段矩离 迫可以说已基本掌握了Insb凝视焦平面探测器中的关键技术，今后将进一步提高探测器性能及可靠性 馒其达到使用水平。 63