MATLAB在TFT-LCD屏显示MURA缺陷检测的应用.pdfVIP

维普资讯 第 22卷 第 6期 液 晶 与 显 示 Vo1．22．NO．6 2007年 12月 ChineseJournalofLiquidCrystalsandDisplays Dec．，2(}07 文章编号 ：1007—2780(2007)06—073卜O6 MATLAB在 TFT—ICD屏显示 MURA缺陷检测的应用 刘 毅，郑学仁 ，王亚南，梁志明 (华南理工大学 微电子研 究所 ，广 广州 510640，E-mail：liuyi@scut．edu．cn) 摘 要 ：提 出一种以MATLAB为主要工具 的 TFT—LCD屏显示缺陷检测方案 ，该方案根据 CMOS工业摄像机采集到的数字图像 ，结合二维 图像拟合技术和 以韦伯定律为原理 的 自动 阈值获取技术 ，使用 MATIAB作为数字 图像分析工具实现对屏幕缺 陷的检测 。介绍 了该方 案的硬件组成和检测原理，给出了MATIAB算法流程和部分代码 、介绍 了GUI检测界面的 设计和详细 的检测步骤及结果，为 TFT—LCD液晶屏显示缺陷的检测提供 了一种快速有效的 方法 。 关 键 词 ：TFT—ICD；MURA；MATIAB；缺陷检测 中图分类号 ：TN27；TP391．4l 文献标 识码：A 析 ，提出导纳电路检测法的思想 ；葛长军等人 l 引 言 分析了液晶显示器 的软性缺陷和硬性缺陷，介绍 ． 薄膜晶体管液晶显示器(Thinfilm transistor 了TF L(D面板 的断路 、短路测试等技术 ，但这 liquidcrystaldisplay，TFT—ICI))正 逐 渐 取 代 些方法都不适用于大面积的 TFT—LCD屏的快速 CRT成为显示器件 的主流 。如何在生产线上实 检测 。 现各种显示缺陷的高速 自动检测是 TFT—ICD生 2 TFT-ICD屏显示缺陷分类及成因 产研究的重要课题之一 。检测 TFT—ICD屏缺陷 的方法 有 以下 3种 ：人 工 视觉检 查法 (Human TF ICD技术是一种结合 了半导体技术和 VisualInspection，HVI)、自动视觉检查法 (Au— 液晶光 学技术的新型显示技术 ，TFT—ICD显示 tomatedVisualInspection，AVI)和电学参数检 屏的制造包括镀膜 、刻蚀 、显影、面板组合、灌 晶封 测法。当前大部分生产线上的屏缺陷检测主要仍 口和安装驱动芯片等多道工序 ]，复杂 的工序导 采用裸眼辨别的HVI方法，此方法与检测人员的 致各种 显示 失效和缺 陷的出现。常见 的TFT— 主观性有很大关系，且容易造成检测人员视觉疲 LCD屏显示缺陷包括点缺陷 (亮点、暗点)、线缺 劳而影响分析 的结果。AVI法是采取机器视觉 陷(亮线 、暗线)和 MURA缺陷。点缺陷主要是 的方法获得 TFT—LCD的屏幕 图像 ．运用数字信 单个 TFT在制造过程 的失效 引起的，而线缺陷 号处理方法对缺陷加 以检测。 则主要是由于驱动 IC与屏上 的有源器件连接不 K．Nakashma的 “混合 检测 “系统 、Jae— 良所致 。 “MURA”一词是从 日语 翻译而来，因 SeungRyu的3阶harr小波变换和 2维 DWT算 这类缺陷象天空 中的云彩形状不定 ，故有部分研 法 、台湾元智大学的吕奇杰 、蔡笃铭等使用基于 究者亦将其称为 “云斑”。MURA是与点 、线两种 奇异 值 分 解 (