二维剪平干涉的频域分析技术.pdfVIP

漆鬻 二维剪切干涉的频域分析技术 史红民倪受庸付雷陆耀东 (北京光电技术研究所北京f00010) 提要 奉义提出一种翦切干涉中的载波技术和频域分析技术。沿两个剪切方向分别 J叫位霄．这种方法的优点是H需要一幅数+，瑚象．并且处理的时问也会缩知i． 。P一、o距《H”珐∥。．嚣净硪～卦‰n 关键询 频域分析．光裁波，2．D剪切，付氏变换． 。镄掰臻漤渭魍固。；。_，。．， i一． 一、引言 传统的翦切于涉法…只在…个方向进{?剪切干涉，吲此只能得到一个方向的信息。通 常情况F．只能_[fj 在静态条件下．通常是通过政变剪切方向来得到二维信息。这种做法不仅浪费时间，而且 只适用1：静态分折。我们在集成电路硅片的平整度与应力分析中已经使用了这种方法。 在通常应用中，被测物体是不稳定的。必须同时获得两个方向的信息，才能得到变形 的细节和两维分布。人们通常使用二维剪切系统，一个沿x方向，一个沿Y方向。在这个 装置中．有两个数字图象采集系统，包括两个ccD摄像机，两个镜头，两个图象采集乍和 两台计算机。为了使数据能共享，须在计算机间进行联网通讯，还需要两个网卡。这种二 维剪切干涉系统已用于研究激光腔镜的变形。 本文利}曰载波技术和频域分析技术，提出只fLfj一幅数字图象进行二维剪切干涉的系统。 二、剪切干涉中的光载波技术 载波技术口】不仅能解决条纹级次的识别，而且能提高所有干涉仪的灵敏度和精度。不 同的干涉仪用不同的方法来实现载波调制，但解调方法是一样的。在剪切干涉中，载波可芏 由给准直光一个小的离焦量或使剪切镜预制一个小角度来产生，它是一系列等间距的平行?： 条纹．x，Y方向载波的灰度分布可袭示如下； (1) 矗(J，J，)=al(膏，J，)+61(爿，y)cos[矿c肖T+≯r(Ⅳ，J，)] (2) f矿(』，，)=a2(工，y)+62(片。y)cos[∥cyJ，+≯r(Ⅳ，y)] 调制过程其实就是把含有我们所需位相信息的波前与载波进行调制： (3) ，工(x，y)=日l(工，y)十61(x，y)cos[wcx并+庐r(x，y)】 ·366· k ￡ 蠢——一型垫掣型生一——一一一 (4) fy(x，y)=日2(z，y)+62(x，y)cos【wcyy+≠v(x，y)】 、式中口l(J，，)，占1扛，y)，口2(J，y)和62(z，y)是低频项，蚊(j，，)和≯v(，，y)是需检测的 ，位相信息，，va和”d分别是x和Y方向载波的空间频率- 载波的解调过程就是从上述方程中获得所需的位相信息≠。(x，y)和≯，