Mo硫化物／Ti复合薄膜的制备及其环境摩擦磨损性能研究.pdfVIP

维普资讯 第 27卷 第 6期 摩 擦 学 学 报 Vol27． No6 2007 年 11月 TRIB0L0GY Nov，2007 Mo硫化物 ／Ti复合薄膜的制备及其 环境摩擦磨损性能研究 彭仕敏 ，杨友志，郑晓华，顾 斌，涂江平 (浙江大学 材料科学与工程系，浙江 杭州 310027) 摘要：采用高温硫化处理磁控溅射M0／Tj金属前驱体薄膜制备 Mo硫化物／Ti复合薄膜，采用 x射线衍射仪、能谱仪 和扫描电子显微镜对复合薄膜的组织结构、化学成分和表面形貌进行分析，采用涂层附着力自动划痕仪和可控气氛球 ． 盘式摩擦磨损试验仪分别测试薄膜与基体的结合力以及摩擦系数，并用扫描电子显微镜观察薄膜的磨损表面形貌 ， 分析其磨损机制．结果表明：硫化温度在450℃以上时能够生成较多Mo硫化物，最佳硫化工艺为450oC×15h；提高 硫化温度或延长硫化时间均使薄膜的结合力下降；磁控溅射Mo／Ti前驱体复合薄膜经450oC×15h硫化处理后 ，薄膜 中生成复杂的Mo硫化物，形成Mo硫化物 ／Ti复合薄膜；与纯 Mo薄膜硫化后相比，Mo硫化物 ／Ti复合薄膜具有更高 的界面结合力和更优异的摩擦磨损性能． 关键词：Mo／Ti前驱体 ；硫化；Mo硫化物／Ti复合薄膜；摩擦磨损性能 中图分类号：TQ174；TH117．3 文献标识码：A 文章编号：1004-0595(2007)06-0509-06 随着空间技术的不断发展，对机械零部件表面 体结合 良好Ti过渡层，由此缓解界面突变问题，以 的减摩耐磨性能提出了更高要求．由于飞行器从大 提高界面结合力 ．本研究为制备性能优 良的固体 气到高真空、潮湿气氛到干燥气氛的运行转变过程 润滑薄膜提供了新途径． 中液体润滑剂的使用受到限制，因此，运转机械零部 1 实验部分 件表面具有稳定的自润滑性能显得尤为重要． 过渡族金属硫化物MoS作为常用固体润滑剂 1．1 金属前驱体薄膜的制备 具有较好的摩擦磨损性能 ¨ ，其大多以固体薄膜 采用英国Teer公司产UDP650型闭合场非平衡 形式采用磁控溅射技术镀覆在摩擦副表面而实现 自 磁控溅射离子镀系统(CFUBMSIP)，在经抛光的45 润滑及减摩效应．但 由于靶材在溅射过程中受到较 钢表面沉积纯Mo和Mo／Ti复合前驱体薄膜．溅射 高能量离子轰击，致使沉积薄膜的微观结构和成分 过程中，以8A电流溅射Ti靶 5min，获得一层较薄 发生变化，通常获得的是 S原子不足的MoS(2) 的过渡层 ，然后共溅射 Mo靶 (靶 电流8A)和Ti靶 薄膜_5J，且溅射沉积MoS薄膜在潮湿环境中易与 (靶 电流4A)沉积Mo／Ti复合膜，溅射时间60min， 空气 中的氧气和水发生化学反应并生成 MoO，，造成 总膜厚约2．4Ixm；制备纯Mo膜时，关闭Tj靶电流 MoS溅射膜的润滑性能退化与失效 ．研究表明， 溅射M 靶(靶电流8A)，溅射时间90min，总膜厚 通过添加金属元素Ti、Al、Au及Cr等可以有效改善 约2．1Ixm． MoS薄膜的结构及其摩擦磨损性能 ．为了进一 1．2 前躯体薄膜的硫化 步改善MoS薄膜的组织结构及摩擦磨损性能，本 将金属前驱体薄膜和过量升华硫粉 (纯度为 文作者探索采用硫化处理Mo／Ti金属前驱体薄膜制 99．5％)置于石英管中，用机械泵抽真空并用氩气 备 Mo硫化物／Ti复合薄膜新方法，并考察了其环境 置换 3次，密封后在 电阻炉中进行高温硫化热处理． 摩擦磨损性能．同时，为了改善界面结合力，在磁控 为了防止薄膜与基片之间膨胀系数不同所产生的热 溅射前驱体薄膜时首先沉积一层较薄、与薄膜