硅基发光材料与器件的研究的进展.pdfVIP

硅基发光材料和器件研究的进展 陈维德 中国科学院半导体所．北京100083 中国科学院凝聚态物理中心和表面物理国家重点实验室，北京100084 李秀琼 中国科学院微电于中心研究部．北京650信箱，100010 摘要 发光器件和集成电路都是信息技术的基础。如果能将它们集成在～个芯片上． 信息传输速度，储存和处理能力将得到大大提高。它将使信息技术发展到一个全新的阶段。 遗憾的是，现在的集成电路是采用硅材料，而发光器件则用111．v族化合物半导体。Ill-v族化 台物半导体集成电路，虽然进行多年的努力．但至今还不成熟。因此，研究硅基发光材料和器 件成为发展光电子集成的关键。本文评述了目前取得较大进展的几种主要硅基发光材料和器 件的研究。包括掺铒硅，多iL硅，纳米硅以及Si／Si02等超晶格结构材料。展望了这些不同硅 基发光材料作为发光器件和在光电集成中的发展前景。 关键词 硅基发光材料，硅基发光器件，光电集成