光栅光阀器件的结构改进与制作工艺研究.pdfVIP

38 8 Vol. 38 No. 8 2009 8 ACTA PHOT ON ICA SINICA August 2009 * 张巍, 耿煜, 侯昌伦, 杨国光 ( , 310027) : 根据光栅光阀 工作原理, 在结构上对传统 光栅光阀器件进行了改进, 分析了改进后光 栅光阀器件 光学特性结构特性, 以及制作工艺流程. 改进后 光栅光阀结构中硅基底上设有二 氧化硅隔离层, 隔离层上沉积无定形硅作为牺牲层, 可动梁 材料是氮化硅, 固定梁为蒸镀 金属 铝层. 通过离子刻蚀 方法刻蚀图形, 用化学腐蚀方法掏空牺牲层得到所需桥梁状结构. 研究表明 改进后 器件黑区范围小, 驱动电压较低, 光学效率较高, 具有潜在 应用前景. : 光栅光阀; 结构改进; 微加工; 刻蚀 : T N256 : A : 100 213( 2009) 0819266 0