微机电系统关键摩擦学问题研究进展.pdfVIP

2007年11月 第八届全国摩擦学大会论文集 November2007 ：邀请报告- 微机电系统的关键摩擦学问题研究进展 钱林茂 (西南交通大学牵引动力国家重点实验室摩擦学研究所，四川成都610031) 纳米科技是而向21世纪的高科技。目前，信息、 历材料隆起和去除两个阶段“…。在过去的20年中， 生物、先进制造等高新技术领域的微型化趋势极大地 大量的微磨损研究主要针对单晶硅表面的材料去除机 理与超薄抗磨涂层的研制”11。仅有少量研究者关注单 促进了微机电系统(MEMS)的发展。然而，由于表面 和尺寸效应的影响，当器件尺度减小到微米量级时， 以粘着力和摩擦力为代表的表面力相对体积力增大近 等人“”报道单晶硅的表面隆起可能源于表面摩擦化学 千倍，导致微机电系统产生严重的粘着、摩擦与磨损 作用。最近，Zhang等人““研究指出硅表面隆起的形 问题，从而派生出纳米摩擦学的新研究方向“+…。 成可能是机械变形和摩擦化学共同作用的结果。尽管 如此，其具体的摩擦化学过程和机械变形机理以及它 们如何导致表面产生隆起的机制仍不清楚。 另外，在过去有关微磨损的研究当中，人们对微 观滑动磨损的关注较多，而忽视了对纳动磨损的研究。 区别于滚动、滑动和微动，纳动是指往复运动幅值在 纳米量级的特殊摩擦运动方式，它作为一种新的运动 方式由我国学者率先提出“’“。。最近，已发现有国外 的研究小组开始进行相关研究“…。在微机电系统中， 由于机械振动、热交换、流体运动和电磁震动等引起 图1微机电系统微磨损损伤实例 的配合面纳动，可造成接触表面的损伤，进而引起一 如果以1987年G．M．Mate等”。发明摩擦力显微镜 作为纳米摩擦学诞生的标志，其发展至今已有近20 些微器件的失效，并导致微机电系统使用寿命的降低。 年的历史。但由于摩擦学问题的复杂性以及实验技术 因此，纳动损伤很可能成为继微观滑动磨损、粘着破 的限制，针对微机电系统的摩擦学设计理论远未完善。 坏之后导致微机电系统失效的又一重要原因。图2示 其结果使得微观粘着和磨损成为导致微机电系统失效 出了两个微机电系统的纳动实例。在图2(a)中，销轴 的主要原因，相关的摩擦学问题已逐渐变为MEMS实用配合面的径向和切向纳动损伤可能会导致整个发动机 化进程的巨大障碍“3。如图1所示，微观粘着与磨损 系统的失效。在图2(b)中，常闭开关接触界面的径向 或切向纳动可能会产生一层导电性差的金属氧化屑， 导致静电微马达的寿命不足240分钟(图1(a))；图 1(b)中微磨损不仅使得微齿轮及其配合轴的间隙增进而使触点发生接触失效。 大，而且产生大量亚微米的磨屑，进一步以三体磨损 的形式加剧磨损，最后导致该传动系统失效。尽管如 此，目前对微机电系统的摩擦学研究主要偏重微摩擦， 对微磨损的研究较少；实验研究主要注重材料的摩擦 学性能表征，对摩擦学机理的揭示较少。因此，亟待 开展以微磨损为主的MEMS关键摩擦学问题研究，以加