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薄膜热电参数测试系统（MRS） Thin-Film ThermoelectricParameterTestSystem 薄膜材料物性分析领跑者 嘉仪通科技 嘉仪通科技成立于2009年，总部位于武汉市东湖开发区未来科技城，拥有研发及办公面 1100 多平方米，在北京、上海、成都建有办事处，并与当地科研院所合作建立了联合实验室。 嘉仪通科技是一家研发、生产和销售关于新材料、尤其是薄膜材料物性分析科学仪器的高新技 术企业，从而为客户新材料的研发及改进提供理论依据和实验平台。嘉仪通科技秉承技术创新、应 用为上的价值理念，遵循 “穷理致用”的原则，踏踏实实、认认真真做好每一台科学仪器。嘉仪通 科技拥有一批海归研发团队，解决了纳米级薄膜材料物性分析的国际难题，并获得多项荣誉。 作为薄膜材料物性分析领跑者，嘉仪通科技已建立完善的薄膜材料物性分析科学仪器产品线： 相变温度分析仪（PCA） 热膨胀系数分析仪（TEA） 光功率热分析仪（OPA） 热电参数测试系统（Namicro） 薄膜热电参数测试系统（MRS） 薄膜热导率测试系统 （TCT） 薄膜热应力测试系统 （TST） 薄膜变温电阻测试仪（TRT） 薄膜磁性测试系统 （TMT） 霍尔效应测试系统（HET） 部分使用客户 清华大学 中科院金属所 中科院电工所 中科院上海微系统所 福建省特检院 华中科技大学 北京科技大学 武汉理工大学 安徽工业大学 武汉工程大学 西华大学 盐城工学院 QueenMaryofUniversityLondon,UK 1 薄膜材料物性分析领跑者 薄膜热电参数测试系统（MRS） 为解决日益紧迫的能源危机，太阳能、风能、核能等多种新能源不断被开发利用。新能源的使 用需要优质的节能材料。 利用热电材料制成的制冷和发电系统，具有体积小、重量轻、无任何机械噪音、不造成任何环 境污染等众多优点。因此对热电材料的研究非常重要。为了进一步提高热电材料的转化效率（热电 优值），对其研究从块体慢慢转移到薄膜材料。 本产品采用准动态测量法，可同时测量薄膜材料的seebeck 系数和电阻率，测温范围达到 80K~600K。 技术原理 准动态法：测 seebeck系数 在待测温场下给样品两端加一个连续变化的微小温差，通过记录样品两端温差和热电势的变化， 然后将温差和热电势拟合成一条直线，直线斜率即为该材料在该温场下的seebeck系数。 采用四探针法测 电阻率。 硬件特点  动态法测量seebeck系数，避免了静态法测量在温差测量上面的系统误差，测量更准确  采用双向加热系统，出现测试坏点，可以重新测试  seebeck系数和电阻率测量测量不共用电压探针，避免出现微型热电偶断裂失效的问题  软件操作简单，智能化可实现手动、自动模式 2 薄膜材料物性分析领跑者 技术参数 温度范围 80K~600K 温控方式 PID程序控制 极限真空 1Pa 测试气氛 真空 -6 -7 测量范围 塞贝克系数：S≥8x10 V/K； 电阻率：10 Ωm~0.1Ωm