磁致伸缩驱动器在干涉仪动态调整系统的设计 与实现.pdfVIP

中文核心期刊 微计算机信息 测控 自动化 年第 卷第 期 ( )2006 22 3- 传感器与仪器仪表 《 》 1 文章编号 1 :1008-0570(2006)03--0186-03 磁致伸缩驱动器在干涉仪动态调整系统的设计 与实现 DesignandRealizationofdynamicalignmentsystemofMichelsoninterferometer 武汉大学 何 冰 曾立波 王先培 尹邦胜 ( ) He,BingZeng,LiboWang,XianpeiYin,Bangsheng 摘要 基于超磁致伸缩材料的特性设计制作了一种用于迈克尔逊干涉仪定镜自适应校正的微位移驱动器 分析了驱动器的 : , 工作磁场 给出了位移输出的特性曲线 将其应用于激光干涉平台 可对定镜进行两个自由度的倾斜调整 并通过激光干涉 , 。 , , 信号进行反馈控制 对其发展起了极大的推动作用。 , 关键词 超磁致伸缩材料 驱动器 动态调整 迈克尔逊干涉仪 : ; ; ; ; 中图分类号: 文献标识码 TH137 :A : , 技AbstractBasedoncharacterofgiantmagnetostrictivematerialamicro-displacementdrivingactuatorfortheadaptivealignmentof fixedmirrorofinterferometerisdesigned.Theconstitutionofmagneticfieldofactuatorisanalyzed,experimentalresultsoftheactuator , 术areprovided.ThisactuatorsareappliedintheMichelsoninterferometertoadjustthefixedmirrorintwo-degreeoffreedomattitude andthesignaloflaserinterferenceusedinacloseloopfeedbacksystemWillpromoteitsdevelopmentgreatly. : 创KeywordsGMM;actuator;dynamicadjustment;Michelsoninterferometer 新 1引言 性曲线。 在傅里叶变换光谱仪中 迈克尔逊干涉仪是其光 , 学系统的核心部分 干涉仪要求作扫描运动的动镜在 , 作匀速直线运动时与定镜保持严格的准直关系 而干 , , 涉系统的稳定性经常受到各种不确定因素的干扰 例 ,