第2章.能量控制型传感器.ppt

2.4　电涡流式传感器 2.4.1　电涡流式传感器的工作原理及结构2.4.2　电涡流式传感器的测量电路2.4.3　电涡流式传感器的应用2.4.4　电涡流式传感器的使用注意事项 2.4　电涡流式传感器 图2-41　电涡流式传感器的工作原理示意图1—电涡流线圈　2—金属导体 2.4.1　电涡流式传感器的工作原理及结构 1.工作原理　图2-41是电涡流式传感器的工作原理示意图。电涡流i2在金属导体的纵深方向并不是均匀分布的，而只集中在金属导体的表面，这称为趋肤效应。趋肤效应与激励源频率f、工件的电导率σ、磁导率μ等有关。频率f越高，电涡流渗透的深度就越浅，趋肤效应越严重。由于存在趋肤效应，电涡流式传感器只能检测导体表面的各种参数。 图2-42　CZF-1型电涡流式传感器的结构示意图1—线圈　2—框架　3—框架衬套4—支座　5—电缆　6—插头 2.4.1　电涡流式传感器的工作原理及结构 2.电涡流式传感器的结构　电涡流式传感器的结构比较简单，主要是一个绕制在框架上的线圈，目前比较普遍使用的是矩形截面的扁平线圈。如图2?42所示为CZF?1型电涡流式传感器的结构示意图，它采用导线绕在框架上的形式，框架采用聚四氟乙烯。 2.4.2　电涡流式传感器的测量电路 1.定频调幅式　电路原理框图如图2-43所示。 1.tif 图2-43　定频调幅式的电路原理框图 2.变频调幅式　电路原理框图如图2-44所示，这种电路的基本原理是将传感器线圈直接接入电容三点式振荡回路。 2.4.2　电涡流式传感器的测量电路 1.tif 图2-44　变频调幅式的电路原理框图 3.调频式　所谓调频式就是将探头线圈的电感L与微调电容C0构成LC振荡器，把振荡器的频率f作为输出量，此频率可以通过f/V转换器(又称为鉴频器)转换成电压，由表头显示。调频式测量转换电路的原理框图如图2?45所示。我们知道，并联谐振回路的谐振频率为 2.4.2　电涡流式传感器的测量电路 1.tif 图2-45　调频式的电路原理框图 2.4.3　电涡流式传感器的应用 1)利用位移作为变换量，可以做成测量位移、厚度、振幅、转速等传感器，也可以做成接近开关、计算器等。2)利用材料电阻率ρ作为变换量，可以做成测量温度、材料判别等传感器。3)利用磁导率μ作为变换量，可以做成测量应力、硬度等传感器。4)利用变换量x、ρ、μ等的综合影响，可以做成探伤装置等。1.测位移　电涡流式传感器的主要用途之一是可用来测量金属件的静态或动态位移，最大量程达数百毫米，分辨率可达到满量程的0.1%。 2.4.3　电涡流式传感器的应用 图2-46　位移测量示意图a)机器转轴的轴向振动　b)金属材料的膨胀系数　c)旋转轴的径向振动　d)机器轴的振动形状1—电涡流式传感器　2—被测导体 2.测厚度　用电涡流式传感器可以测量金属材料厚度、塑料表面金属镀层的厚度以及印制电路板铜箔的厚度等。 2.4.3　电涡流式传感器的应用 图2-47　厚度测量示意图 3.测转速　在被测旋转体上开一条或数条槽或做成齿状， 2.4.3　电涡流式传感器的应用 旁边安装一个电涡流式传感器，如图2-48所示。n=60f/Z(2?23)4.测温度ρ1=ρ0［1+α(t1－t0)］(2?24) 1.tif 2.4.3　电涡流式传感器的应用 图2-48　转速测量示意图a)凹槽转轴及输出波形　b)齿状转轴及输出波形1—电涡流式传感器　2—被测导体 2.4.3　电涡流式传感器的应用 图2-49　温度测量传感器1—补偿线圈　2—管架　3—测量线圈4—隔热衬垫　5—温度敏感元件 2.4.3　电涡流式传感器的应用 5.表面探伤　利用电涡流式传感器可以检查金属表面(已涂防锈漆)的裂纹以及焊接处的缺陷等。探头对被测金属表面逐点扫描，得到输出信号。当被测金属表面存在裂缝时，电涡流所走的路程大为增加，所以电涡流突然减小，输出波形如图2?50a中的“尖峰”所示；对于比较浅的裂缝信号，需经过滤波器、幅值甄别电路对信号进行处理，抑制掉干扰信号，如图2?50b所示。 1.tif 2.4.3　电涡流式传感器的应用 2Z50.TIF 图2-50　涡流探伤的测试信号a)未处理的信号　b)处理后的信号 6.接近开关　电涡流式传感器可制成接近开关的感辨头，辨别金属导体的靠近，可用于生产线的工件定位、生产零件的计数或产品的合格检验等，如图2-51所示。 2.4.3　电涡流式传感器的应用 图2-51　接近开关的示意图a)生产线的工件定位　b)生产零件的计数　c)产品的合格检验 2.4.4　电涡流式传感器的使用注意事项 1.电涡流轴向贯穿深度的影响　电涡流在金属导体中的轴向分布是按指数规律衰减的。导体材料确定后，可以通过改变励磁电源频率来改变轴向贯穿深度，