超声波显微镜在无损检测中的应用.pdfVIP

徽镜对f物质最纤细的组织结构能够做出准确判 质时．若遇到不同密度或弹性系数之物质时，即会 断．浚显徽镜是世界第一台用超声波扫描进行工 产生反射回波。而此种反射回波强度会因材料密 作的R徽镜。超声键扫描显微镜．扫描分辨率为 度不同而有所盖异，C—SAM利用此特性来检出 ol pm．最小扫描范嗣为o25"m×025，-m，德 材料内部的缺陷并依所接收的信号变化将之成 像．困此可由C 国KSI超声渡扫描牲微镜C—SAM(SAT)是世 SAM影像确定映陷的相对位 界上最先进的机器．见图2照片。超声波扫描显 置。 微镜，主要应片{领域星半导体器仲芯片，复合材料 超声波扫描显徽镜的特点是可以放置多个门 及钢铁组织等内部的失效分析。其可以檎查到： 电路．我们就llf“存监控屏鞯F得到材料内部不 材料内部的品格结椅．杂质颗粒，夹杂物，况窿物． 同深度的多幅图像。在超声波频率高达2GH2(2 。00 1 内部裂纹．分层缺陷．空洞，气泡．空隙等。 MHz)时．仪器最高可“达到0nm的分辩 率。根据需要可“选择多个传感器，这样就得到 不同频率的声渡信号。对每～个扫描点反馈目柬 的信号进行振幅及其正鲍和传输时间的分析，并 用颜色<连续谱，灰度谱)表示出声波相位的反转 情况。 德国KSI公司扫描显微镜的发展轨迹： *1990年t世界上第～个做出频率超过 GHz的超声渡扫描显徽镜，捌月前为止．其他同 目2∞目KSI自$t#mⅡ#* 2 KSIult—nlc 类仪器公司只能做到200MHz左右， Fig Ge册any micr唧 *1991年．世界上第一个在超声波显微镜 普诵光学显微镜的构造主要分为j部分：机 中做出GHzV(z)，V(f)定量测量系统； 械部分、鼎明部分和光学部分。光学显微镜是在 l 590年由荷兰的扬森父子所首创。现在的光学 *1996年．推出世界上第一台数字超声波 显微镜可把物体放大1500倍，分辨的最小极限达 显微镜； 02pm。光学盟微镜的种类很多．除一般的外， *[998年t世界上第一个做出带有球面透 主要有暗视野显擞镜是一种具有暗视野聚光镜， 镜的超声眭换能器； 扶而使照明的光束不从中央部分射人．而从口周 *2002年，世界上第一个在超声波显微镜 射向标本的显赦镜。荧光显微镜“紫外线为光 上宴现材料阻抗洲盈． 源．使被照射的物体发出荧光的显赦镜。 *2004年，世界上第一个在超声波显馓镜 电子显微镜是1931年在德国柏林南克诺尔 扫描控制平台中采用空气垫悬浮线性马达驱动的 和晴罗斯卡占先装配完战的。这种显擞镜用高速 超高精度X—Y扫描系统i 电子束代替光束。由于电子流的渡长比光畦短得 *2004年．世界上第一个实现超声渡显微 多．所以电子显傲镜的放大倍数可达80万倍．分 镜自动对