基于数字显微全息技术的相位光栅结构测量.pdfVIP

第 37卷第 11期 光 子 学 报 Vo1．37No．11 2008年 11月 ACTA PHOTONICA SlNICA November2008 基于数字显微全息技术的相位光栅结构测量* 周文静 ，于瀛洁 ，徐强胜 (上海大学 精密机械工程系，上海 200072) 摘 要：以相位光栅为实验对象，开展 了基于数字显微全息技术的相位物体三维显微结构信息的再 现研究．在 Mach～Zender透射式实验 系统的基础上，分别采用显微物镜和无透镜放大方式，对相位 光栅进行放大，以提高系统横 向分辨率．在显微物镜放大系统 中，菲涅耳近似数值再现算法与双波 长技术相结合，抑制主要系统噪音 ，获得相位光栅的显微结构三维分布．在无透镜放大数字显微全 息系统中，分别利用菲涅耳近似法和卷积方法再现原始物波前 ，并提 出相减法消除系统主要球面误 差，获得相位光栅的深度信息．实验结果与 Veeco干涉仪测试结果比对表 明，光栅周期和深度结构 与干涉仪