基于微热板技术的氢气传感器.pdfVIP

第29卷第3期 《陶瓷学报》 Vo1．29．NO．3 2008年 9月 JOURNAL OFCERAMICS Sep．2008 文章编号：1000—2278(2008)03—0203—05 基于微热板技术的氢气传感器 曾传卿 (中国工程物理研究院总体工程研究所，四川绵阳：621900) 摘 要 新型固态氢气传感器将新颖的氢化金属薄膜与带微热板的微机电(MEMS)系统结构相结合。微热板结构通过硅表面微加工 制作，产生带有{ycx／．式加热器并与衬底绝热的悬置平台。涂覆钯保护层的稀土金属薄膜淀积在这个结构上，用作主动氢气敏感层。 当敏感元件暴露在氢气中时，这两层的电阻变化就是传感器的输出。对空气中0．25％氢气的响应时问为亚秒(低于ls)。可测量低 于200ppm的氢气浓度。传感器的上升时间和下降时间取决于微热板的有效温度，且随加热器功率的增加而变短