激光回馈波片位相延迟测量的误差源及消除方法.pdfVIP

第 29卷 第 6期 应用光学 Vo1．29 No．6 2008年 i1月 JournalofAppliedOptics NOV． 2008 文章编号 ：1002～2082(2008)06—0961—06 激光回馈波片位相延迟测量的误差源及消除方法 刘 名 ，张书练 ，刘维新 (清华大学 精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室 ， 北京 100084) 摘 要 ：激光回馈法是一种新型的波片位相延迟测量方法。将波片放置在激光器与 回馈镜之 间，可 使激光回馈波形产生偏振9O。旋转 (即跳变)现象，而两偏振态所 占的周期比 (占空比)与波片的 位相延迟相关。通过测量 占空比即可由计算机 自动给 出波片位相延迟。采用双向扫描 回馈镜 ，2次 获得并测 出占空比，这样可以很好地消除两偏振态损耗的波动造成的测量误差 ，提 高了该方法长 期测量的稳定性。测量的重复性达到0．5。。该方法结构简单 ，在线测量精度高，满足工业化生产 的