激光精密刻蚀技术在硅太阳电池制备工艺中的应用.pdfVIP

第 37卷第 11期 光 子 学 报 Vo1．37No．11 2008年 11月 ACTA PHOTONICA SINICA November2008 激光精密刻蚀技术在硅太阳电池制备工艺中的应用* 王宏杰 ，王亚楠 ，彭建强 ，吕福云 ，杜永超 ，刘建生 ，孙彦铮 (1南开大学 物理科学学院光 电信息系，天津 300071) (2中国电子科技集 团公司第十八研究所 ，天津 300381) 摘 要：依据光学谐振腔的图解分析与设计方法 ，对以Nd：YAG 固体激光器作光源的激光切割机 进行 了设计改进 ，实现了高亮度激光输 出．并利用该设备对硅太阳电池‘进行 了激光精密切割试验， 使埋栅 太阳电池 电极槽达到了平均宽度 为 15O±5gm，槽 深 100±10tim 的设计指标．在发射结卷 包太阳电池所用的硅衬底片上进行激光精密穿孔，目前最小孔径为20tim．通过应用激光精密刻蚀 技术，现将埋栅太阳电池光 电转换效率提高到了21 ，接近该领域的世界先