一种提高扩散泵机组性能的有效方法.pdfVIP

一种提高扩散泵机组性能的有效方法 徐成海郝璐高亚杰 (东北大学沈阳110004) 孙能运 10004) (沈阳兰菱真空设备厂沈阳1 摘要：本文介绍采用单机制冷压缩机组冷却扩敞泵挡板，通过实验证实，它是一种降低扩散系返油率， 提高极佩真空度的有效方法． 1．引言 扩散泵性能稳定，结构简单．造价低，使用方便，在高真空领域更深受广 大用户的欢迎，各种真空镀膜设备几乎都离不开它。这种泵的最大缺点就是返 油污染被抽空间，影响产品质量。为解决这个问题，不少人采取过不同办法， 这些办法可归纳为两大类：一类是从泵的内部结构上作改进，出现了低返油率 扩散泵，1985年我们和兰州真空设备厂合作，研制的KD-200型扩散泵就属于 用现有方的测试法没有测出来返油率“1：另一类是在扩散泵口上想办法，于是 出现了各种挡板”1。这些当板结构各异，目的都是阻挡返油，降低返油率。为 提高挡油和捕油效果，在挡板内应通冷荆，常通的冷剂是冷却水或液态氮，实 验用的扩散泵挡板采用液态氮冷却的冷阱，工业生产