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制冷机低温泵的故障原因及排除 任家生 【东南大学电子工程系) 摘要：伟6冷机低温泵的冷源是小型制冷机。制冷机在日常运行中可能发生种种故障．对制冷 机的制冷能力和制冷温度都有明显的影响，亦对泵的抽气特性产生影响。本文着重讨论制冷 机在日常运行中可能发生的种种故障、原因及排除。 关键词：制冷机低温泵运}亍故障溶因排除号一j 一、；l言 低温抽气是目前获得洁净真空环境的一种快捷而有效的方法。随着两级高 可靠性、小型制冷机的日臻完善，制冷机低温泵得到迅速发展，已成为获得洁 净、无污染、抽速大、工作压强范围宽、抽气效率高、结构简单、使用方便． 能长期工作，可任意方向安装的真空获得设备。 制冷机低温泵的冷源是小型气体制冷机。制冷机制冷系统的工况变化，对 低温泵的抽气特性会带来一定的影响。如制冷单元的过高热负载或制冷能力的 损失，可能导致运行温度的显著上升。这个温升会因制冷单元低温抽气作用的 减小而导致真空室的真空度降低(而压强升高)。绝热真空度的降低又会导致制 冷能力的进一步损失，继而会发生累进故障。因此，制冷系统运行工况的变化，， 将使制冷机一二级冷头温度和制冷量发生变化，而冷头温度的变化对泵的抽气 速率、抽气容量、极限压强、再生时间等泵的特性参量产生很大的影响。制冷 系统制冷工况的变化，既与压缩机和膨胀机的泄漏、机械零件的磨损、易损件 的损坏、密封件的老化、吸附器的污染、绝热真空的破坏及热负载过大等因素 有关外，还与蓄冷器受污染有关。 二、制冷机低温泵的结构与工作原理 低温抽气是一种储存式捕集排气，它所抽走的气体不是直接排到泵外，而 是储留在泵内，一旦冷头温度发生变化，它所抽走的气体又会重新放出，而破 坏泵的正常工作。 玮q冷机低温泵是利用{氐温表面对被抽气体分子进行低温冷凝、低温吸附和 低温捕集等物理现象来获得，并保持高真空和超高真空的一种获得设备。 在制冷机低温泵中，一级冷阵～般由辐射屏和一级挡板组成．同制冷机的 一级冷头相连，其温度通常在45—100K范围内；二级冷阵与制冷机二级冷头相 接，温度为10—20K，它的外侧为裸露的无氧铜抽气表面，内侧在金属面上粘贴 吸附剂C一般为活性炭)形成吸附抽气面，其结构如图1所示， 珐兰。 人字形坞板 哑j}i刺 ．二垣玲障 二级砖头 77K盱}i|fi腮 (；0～20K) ’致睁机^【包 一毁砖头 (SO～00m 粲竞 材睁扭的 悖动装置、 也仉弓I墁 图l制冷帮U氐温泵结构示意圈 一级冷阵中的挡板和屏蔽屏用于阻挡来自泵壁和真空室的熟辐射，保护二 级冷阵免受室温热辐射的直接照射，以减小制冷功率损耗，维持泵的正常工作； 同时，它还具有抽除H：O、C02等大多数碳氢化台物及其高凝结点气体功能： 另外还预冷一级冷阵不能抽除的其它气体。二级冷阵的外表面是冷凝抽气，用 于抽除N^、O：、时等可凝性气体，而对He、Ne、H：等非凝性气体进行预冷； 粘贴活性炭的内侧主要以低温吸附抽除He、Ne、H’。该泵在抽混合气体时(如 空气)，还会发生低温捕集抽气作用，即可凝性气体在～、二级低温表面冷凝后 形成的固态多晶霜层，它对非凝性气体具有相当的捕集抽气功能。 现代低温泵的核心是小型制冷机，它是一种小型闭循环气氦膨胀制冷机。 目前制冷机中被广泛采用的有：斯特林循环制冷机、索尔文循环制冷机和G．M 循环制冷机等。尤以G_M循环制冷机使用最广。图2是G-M制冷机系统图， 系统的主要部件是一个制冷单元，一个单独的压气单元，一个吸附器和一个控 制屏，该系统的工作气体是99．998％高纯氦。 i 一≈ 肛 息 图2低温泵制冷机系统图 三、低温