精确点位运动夹持机构的平台设计.docVIP

精确点位运动夹持机构及平台的设计  目录 摘要 随着科技的进步,通信工程、精密工程等领域的快速发展,高精度、高分辨率、高可靠性的精密夹持机构及定位系统的研究越来越受到重视,发展也越来越快。国外对这一技术领域研究较早,成果显著,而我国相对起步较晚,技术相对落后。本文搜集了大量相关资料,对国内外的高精度运动平台的原理及特点进行了总结和分析。 为实现对微小构件稳定夹取及可靠释放等操作,本文首先设计了一种复合式微夹持机构。该夹持机构采用了MEMS体硅工艺将静电梳齿驱动与气动吸放集成构成复合式驱动,气动吸放的引入改善了微夹持机构的操作性能, S形柔性梁结构的设计将梳齿驱动的直线运动转化成末端夹爪的转动实现了夹持操作。两种不同尺寸的微夹持机构, 有效扩展了微夹持机构的夹持范围。根据微夹持机构的操作控制需求,设计了微夹持机构静电驱动控制系统以及气压控制系统。在80 V 的驱动电压下,微夹持机构末端夹爪位移可达25 。微夹持机构基本可满足对10-50 微小构件的夹持操作需求。 此外，本文设计了一套用于该微夹持机构的高精度点位运动平台，详细介绍了平台机械结构部分的方案设计过程。分析了微夹持机构的功能需求,设计并编写了微夹持机构的控制软件。在编写控制软件的过程中,结合软、硬件完成了平台硬件对应的各项功能,其中包括对于光学传感器、运动平台和摄像头的基本控制功能。理论分析了运动平台的定位精度及重复定位精度。  1 绪论 1.1研究背景及意义 随着微机电系统(MEMS)的迅速发展,对微操作与微装配技术的需求日益迫切。 微业作工具作为实现微操作的关键部件,是连接微观系统与宏观系统的关键环节。自Kim等人于1989年研制出静电制动微夹持机构以来,以微夹持机构为代表的微作业工具方面的研制受到国内外的广泛关注。随着微操作对象尺寸的逐级减小,尺度效应的影响逐渐显著。在微米级尺度下,范德华力、静电力、表面张力等表面力已经取代体积力占据主导地位。一方面,由于尺度效应的影响,微小器件很容易粘着于微夹持机构上而实现拾取操作,但很难实现稳定释放。另一方面,微小构件形状特征以及不同的操作定位需求也对微夹持机构的夹持方式提出了要求,如对象可接触位置的选择性、可接触面积的大小等,都对微夹持机构的设计提出了更高的要求。因此,结构紧凑、体积小、能够对微小构件实施稳定拾取及可靠释放、并广泛适用于多种形状的微小构件、满足微小构件不同操作定位要求的微夹持机构将能更好地适用于微装配作业。本文采用体硅工艺成功研制出了静电驱动结合气动吸放的复合式MEMS微夹持机构。在微夹持机构中心刻蚀出的槽与玻璃键合后形成气路,真空负压使微夹持操作更稳定,气路正压则克服了粘附力影响可实现可靠释放,有效实现了微作业工具的集成化与小型化。 微作业工具作为实现微操作的关键部件,是连接微观系统与宏观系统的关键环节。随着微操作对象尺寸的逐级减小,尺度效应的影响逐渐显著。一方面,由于尺度效应的影响,微小器件很容易粘着于微夹持机构上而实现拾取操作,但很难实现稳定释放。另一方面,微小构件形状特征以及不同的操做定位需求也对微夹持机构的夹持方式提出了要求。针对以上问题,本文在分析微构件操作方法的基础上研制了一种对微构件实现稳定拾取及可靠释放的复合式MEMS微夹持机构,有效实现了MEMS作业工具的集成化与小型化。 首先,从尺度效应的产生及影响出发,对粘着现象进行分析,针对尺度效应的存在,研究了减小及克服粘着力的方法。提出了复合驱动方案,在建立微构件操作力学模型的基础上研究了基于复合驱动式的微构件操作方法,为复合式MEMS微夹持机构的研制提供了理论依据。 进行了复合式MEMS微夹持机构的设计,在分析静电驱动特性的基础上,设计了静电梳齿驱动器,分析了S形柔性梁及柔性悬梁结构,将有限元方法用于微夹持机构的静力学及模态仿真分析。设计了气路微通道结构,并分析微通道内气体的微流动特性。针对微夹持机构的结构特点,结合硅微机械加工技术,制定了微夹持机构MEMS工艺流程。 针对复合式微夹持机构静电驱动特性以及气动吸放驱动特性,设计了能够输出大范围稳定直流电压的静电驱动控制系统以及能精确控制负压力和正压力的气动吸放控制系统,并进行控制系统性能测试,测试结果表明了控制系统满足复合式MEMS微夹持机构的操作要求。 最后,建立了复合式MEMS微夹持机构的实验系统,对微夹持机构进行性能测试和实验研究。实验证明复合式MEMS微夹持机构能够实现对微小构件的稳定拾取和可靠释放,达到了预期效果。 复合式MEMS微夹持机构的研制在MEMS微操作方面做了有益的尝试,实现了MEMS作业工具的小型化与集成化,对MEMS微操作技术的发展起到了积极的推动作用 在微系统工程的开发中，主要难题是微器件的制作及其装配，其中夹持工艺起着决定性作用，因为使用通常的技术，可能会损坏