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MOCVD-ZnO中间层在非晶硅%2f微晶硅叠层电池应用.pdf

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· · 576 第十一届中国光伏大会暨展览会会议论文集 MOCVD—ZnO中间层在非晶硅/微晶硅叠层电池中的应用 樊正海 张晓丹’ 张鹤林泉 陈新亮 魏长春 孙建赵颖耿新华 / (南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电信息技术科学教育部重点实验室, 光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津300071) 摘要 非晶硅/微晶硅叠层电池已经成为硅薄膜太阳电池产业化关注的热点,但由于非晶硅电池存在光致 衰退效应,提高非晶硅/微晶硅叠层电池的稳定性就显得尤为重要,而位于非晶硅顶电池和微晶硅底电池之 间的中间层对提高非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的效率和稳定性有一定作用。本文基于金属有机物化学气 相沉积(MOCvD)技术具有工艺简单和沉积温度低的特点,采用了MOCVD-ZnO作为中间层。通过工艺调控 制备了不同掺杂浓度的Zn0材料应用于非晶硅/微晶硅叠层电池中,电池结构为:Glass/SnOz:F/p-a-SiC:H/ 中间层对叠层电池性能的影响。 关键词 非晶硅/微晶硅叠层电池;Zn0;中间层 ofMOCVD—ZnOAsIntermediateReflector Application in TandemSolarCells Micromorph Fan Xiaodan HeLin Chen ZhenghaiZhang Zhang Quan Xinliang Jian Wei Sun Zhao Xinhua Changchun YingGeng ThinFilmDevicesand ofNankai (InstituteofPhoto-electronics Technique University, ofPhoto-electronicsThinFilmDevicesand of KeyLaboratory TechniqueTianjin, Scienceand of Information KeyLaboratoryOptoelectronics Technology,Ministry Abstract tandemsolarcellhasbeen muchattentioninSi.basedthinfilmsolarcellsindus.. Micromorph paid is to the ofthe tandemsolarcellbecauseoftheStaebler. try.Itimportantimprovestabilitymicromorph Wronskieffectina-Si:Hcell.Anintermediatereflectorisinsertedbetweenthetwocellsofthemicro. top tandcmsolarcelltoobtaina and ZnOwithdifferentB

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