测试技术8.docVIP

第8章 压电式传感器及应用 主要内容： 1．压电式传感器的工作原理及压电材料 2．压电式传感器的等效电路及测量电路 3．压电式传感器的应用 ??　? 压电式传感器的工作原理是基于电介质的压电效应，它具有自发电和可逆两个重要特性。在外力作用下，电介质的表面可产生电荷，从而实现非电量测量。压电式传感器可以对各种动态力、压力、加速度、机械冲击和振动进行测量，它具有灵敏度高、动态响应频率宽、信噪比高、结构简单、工作可靠、重量轻等优点，在声学、力学、医学、导航等方面都得到广泛的应用。 8．1压电效应及压电材料8．2测量电路 8．3压电式传感器的应用 8.1压电效应及压电材料 8.1.1 压电效应 　　压电式传感器是基于某些电介质的压电效应，压电效应可分为正压电效应和逆压电效应。当电介质（晶体）受到一定方向外力的作用而产生变形时，就会引起它内部正负电荷中心相对转移而产生极化现象，从而导致在相应的两个表面上产生符号相反的电荷；当外力作用除去时，表面的电荷也随之消失，又重新恢复不带电状态；当外力作用方向改变时，电荷的极性也随之改变。这种现象称为正压电效应，或简称压电效应。 相反，当对电介质沿极化方向施加电场作用时，在一定的晶轴方向将产生机械变形或机械应力；当外加电场撤去后，其内部的应力或变形也随之消失。这种现象称为逆压电效应，又称电致伸缩效应。　　具有压电效应的电介质称为压电材料，能实现机械能——电能之间的相互转换，因此压电式传感器是双向传感器。常见的压电材料有石英（SiO2）晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等。　　石英晶体具有各向异性特性，即在不同晶向其性能不同。如图8.1.1所示为天然石英晶体结构，其外形是一个六棱柱，两端是一对称的六棱锥（图中所示为其剖开的一半）。在讨论晶体结构时，常采用xyz右手直角坐标表示，其中纵向轴Z轴称为光轴（或称为中性轴），沿Z轴方向无压电效应；经过六棱柱棱线并垂直于光轴的X轴称为电轴，垂至于X轴的表面压电效应最强；与X轴和Z轴同时垂直的Y轴称为机械轴，在电场的作用下，沿Y轴方向的机械变形最明显。　　常将沿X轴方向的力作用下产生电荷的压电效应称为纵向压电效应；将沿Y轴方向的力作用下产生电荷的压电效应，称为横向压电效应；当外力沿Z轴方向作用时，不产生压电效应。 ? ? ? 　　 图8.1.1 石英晶体 　　　通常从晶体上切下一个平行六面体切片，并使其晶面分别平行z-z、y-y、x-x轴线，如图8.1.2所示，这个晶片在正常状态下不呈现电性。当沿X轴方向施加作用力Fx时，则在与X轴垂直的平面上产生电荷qx（即纵向压电效应），如图8.1.２，其大小为?????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????（8.1.1）式中? d11——晶体在X轴方向受力时的压电常数（C/N）。可见，产生电荷的大小与切片的几何尺寸无关，与所受外力大小成正比。产生电荷的极性视作用力Fx是受压或受拉而决定。　　若作用力沿着Y轴方向，产生的电荷仍然在与X轴垂直的平面上出现（即横向压电效应），但极性相反。此时电荷的大小为??????????? ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????（8.1.2）式中? d12——晶体在Ｙ轴方向受力时的压电常数（C/N）；（石英轴对称，d12＝－d11）a 、b——晶体切片的长度和厚度。　　由式（8.1.2）可见，沿机械轴方向施加作用力时，产生的电荷大小与晶体切片的几何尺寸有关。式中的负号说明沿Y轴的压力所引起的电荷极性与沿X轴的压力所引起的电荷极性是相反的。　　 　　　　图8.1.2 石英晶体切片上电荷极性与受力方向的关系 　　 　　　　　　　图8.1.3　石英晶体的压电效应　　石英晶体除纵向、横向压电效应外，在剪切力作用下也会产生电荷，即剪切压电效应，产生的电荷仍然与所受到的剪切力大小成正比，如图８.１.３所示。 　　如果在石英晶片的两个电极上施加交流电压，将产生机械振动，即逆压电效应。利用压电材料的这种性能可做电声设备、超声波发射探头等。　　显然，为了利用石英晶体的压电效应进行力－电转换，需要将晶体沿一定的方向切割成晶片。针对不同的应用有许多切割的方法，最常用的是将石英晶体沿垂直于Ｘ轴的平面切成薄片，称为０度Ｘ切。（了解更多）关于压电常数、压电常数矩阵 （了解更多） 　　综上所述，压电晶体的正压电效应和逆压电效应是相互对应的，哪个方向上有正压电效应，则在此方向上必定存在逆压电效应，而且力-