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以PVP为添加剂的BST薄膜制备与结晶性能.pdf
第 37 卷 增刊 电 子 科 技 大 学 学 报 Vol.37 suppl
2008年6月 Journal of University of Electronic Science and Technology of China Jun. 2008
·电子信息材料与元器件·
以PVP为添加剂的BST薄膜制备与结晶性能
1,2 1
李恩求 ，廖家轩
(1. 电子科技大学电子科学技术研究院 成都 610054; 2. 电子科技大学微电子与固体电子学院 成都 610054)
【摘要】用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO /Si(100)基片上沉积Ba Sr TiO 薄膜，采用SEM、XRD 、AFM分析薄膜的表面形貌
2 0.6 0.4 3
和结晶行为。为抑制薄膜裂纹，在前驱体溶液中加入高分子聚合物聚乙烯吡咯烷酮(PVP)。结果表明，经700 ℃退火1h，得到
表面平整、致密、无裂纹和孔洞以及晶粒取向高度一致的薄膜。薄膜钙钛矿结构明显，并随温度的升高而趋于完善。在结晶
初期形成规则的柱状晶粒在长大和吞并的过程中逐渐形成颗粒状晶粒。薄膜的晶粒大小和表面粗糙度随退火温度的升高而增
大。在平均晶粒较大且晶界分明的情况下，薄膜的均方根粗糙度仍能保持在7.854 nm左右。
关 键 词 钛酸锶钡薄膜; 晶化行为; 聚乙烯吡咯烷酮; 溶胶-凝胶法
中图分类号 O484; PN384; PN304 文献标识码 A
Preparation and Crystalline Properties of BST Thin Films
Fabricated Using PVP as Additive Agent
LI En-qiu1,2 and LIAO Jia-xuan1
(1.Research Institute of Electronic Science and Technology, University of Electronic Science and Technology of China Chengdu 610054;
2. School of Microelectronics and Solid-State Electronics, University of Electronic Science and Technology of China Chengdu 610054)
Abstract Ba Sr TiO (BST) thin films were fabricated on Pt/Ti/SiO /Si ( 100) substrates by sol-gel
0.6 0.4 3 2
method. The surface morphology and crystallization behavior were observed by SEM, XRD and AFM. In order to
avoid crack, polyvinyl pyrrolidone (PVP) was dispersed uniformly into the sol-gel precursor solution. It is revealed
that the BST films annealed at 700 ℃ for 1 h exhibit a pure perovskite phase and are homogeneous, compact,
smooth and crack
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