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基于La0.7Sr0.3FeO3的微结构乙醇气体传感器的研制.pdf
第 卷 第 期 半 导 体 学 报
年 月
基于 的微结构乙醇气体
传感器的研制
刘 丽 张 彤 漆 奇 陈维友 徐宝琨
吉林大学电子科学与工程学院长春
吉林大学物理学院朝阳校区物理中心长春
摘要以 为敏感材料设计制成了一种新型的共平面结构气体传感器 基于有限元分析软件
对该传感器结构进行了优化设计 实验测得该传感器对于 浓度乙醇气体的灵敏度为 功耗为
是同种敏感材料烧结型传感器功耗的 响应时间约为 恢复时间约为 是一种功耗低灵敏度高稳定
性好的微结构乙醇气体传感器
关键词 纳米材料微结构低功耗乙醇气体传感器
中图分类号 文献标识码 文章编号
微结构气体传感器的设计与实现
引言
结构设计
气体传感器广泛应用于工业农业电子业及家
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