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椭偏仪实验报告 计算机系 P 李润辉 实验目的：1.了解椭偏仪测量薄膜参数的原理。 2.初步掌握反射型椭偏仪的使用方法。 实验原理： 设介质层折射率分别为 n 、n 、n ,φ 为入射角,在界面 1 和界面 2 处会产 1 2 3 1 生反射光和折射光的多光束干涉,如图(1-1)： ϕ1 介质 n1 界面 1 薄膜 n2 ϕ2 衬底 n3 界面 2 ϕ3 图 1-1 用 2δ表示相邻两分波的相位差,其中δ=2πdn cosϕ /λ,用 r 、r 表示光 2 2 1p 1s 线的 p 分量、s 分量在界面 1 的反射系数,用 r 、r 表示光线的 p 分量、s 分量 2p 2s 在界面 2 的反射系数。由多光束干涉的复振幅计算可知： −i2ϕ r + r e E = 1p 2p E (1) rp 1+ r r e−i2δ ip 1p 2p −i2ϕ r + r e E = 1s 2s E (2) rs −i2δ is 1+ r r e 1s 2s 其中 E 和 E 分别代表入射光波电矢量的 p 分量和 s 分量，E 和 E 分别 ip is rp rs 代表反射光波电矢量的 p 分量和 s 分量。现将上述 E 、E 、E 、E 四个量写 ip is rp rs 1 成一个量 G，即： E /E r + r e−i2ϕ r + r e−i2ϕ rp rs i∆ 1p 2p 1s 2s G= = tgψe = −i2δ · −i2δ (3) E /E 1+ r r e 1+ r r e ip is 1p 2p 1s 2s