分段表面放电沉积效率研究.pdfVIP

　第 15 卷 　第 3 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol. 15 ,No. 3 　 　2003 年 3 月 HIGH POWER LASER AND PARTICL E BEAMS Mar. ,2003 　 文章编号 (2003) 分段表面放电沉积效率研究 于 　力 , 　易爱平 , 　刘晶儒 , 　马连英 , 　张永生 , 　曾正中 ( 西北核技术研究所, 陕西 西安 710024) 　　摘 　要 : 　利用一种结构紧凑的分段表面放电辐射源模块 ,详细研究了在不同电压、电容、气压实验 条件下回路等效电阻、等效电感及放电能量沉积效率的变化规律 ,利用四分幅相机拍摄获得了不同实验 条件下的放电等离子体通道图像 ,分析讨论了放电等离子体运动对放电能量沉积效率的影响 ,提出了提 高能量放电沉积效率的有效途径。 　　关键词 : 　表面放电 ; 能量沉积效率 ; XeF 激光 　　中图分类号 : TN245 　　　　文献标识码 :A 　　分段表面放电作为开放式大电流辐射源能够产生极强的真空紫外辐射 , 已成功地应用于光泵浦产生 XeF (CA) 激光[1～3 ] 。分段表面放电能量沉积效率是决定泵浦源辐射效率以及 XeF ( CA) 蓝绿激光总转换效率的 重要环节 ,放电沉积效率低将严重制约激光输出能量的提高。以我们自行研制的 XeF ( CA) 蓝绿激光器[3 ] 为 例 ,该激光器的放电沉积效率仅为 35 %左右 ,大部分能量被消耗 ,导致激光输出能量仅达到百 mJ 水平。因此 , 研究影响放电沉积效率的因素 ,提高分段表面放电沉积效率显得尤为迫切和重要。 1 　分段表面放电辐射源模块 　　为了能系统地研究分段表面放电沉积效率的变化规律 , 自行研制了一种分段表面放电模块。放电室主体 框架用硬铝制成 ,辐射源安装在主体框架的侧壁上 ,主电极间距 8cm , 由高压脉冲电容器供电,主放电由埋于绝 缘基板内部的触发电极提供的高压脉冲引发。分段表面放电辐射源模块结构设计紧凑 ,力求减小回路电感 ,很 好地解决了结构紧凑与高压绝缘之间的矛盾。该模块可在充电电压 10～30kV 、气压 100～200kPa 的范围内工 作 ,放电电流最大可达 40kA ,放电沉积功率密度达 27MW/ cm 。 2 　沉积效率的定义与计算 　　分段表面放电回路可以近似地等效为 RLC 放电回路 ,因此放电电流可由 U0 - βt R 1 R 2 1/ 2 ω β ω ( ) ( ) i = ω e sin t , 　 = , 　 = - 2 1 L 2 L L C 4 L 计算 ,利用罗柯夫斯基线圈测量放电电流 ,对获得的电流波形进行数据处理和模拟计算 ,可以求出放电回路的 等效电阻 R 和等效电感L 。 - 1 ( ) (