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单晶硅放电蚀除机理研究及有限元分析 ———李 　健 　刘志东 　邱明波等 单晶硅放电蚀除机理研究及有限元分析 李 　健 　刘志东 　邱明波 　田宗军 　汪 　炜 南京航空航天大学 ,南京 ,2 100 16 摘要 :提出了单晶硅电火花加工蚀除机理假设 ,认为热应力在放电蚀除过程中起主要作用 。建立了 单晶硅电火花线切割放电模型 ,利用有限元法模拟了在单脉冲放电条件下单晶硅的温度场及热应力场 分布 。分别计算了单晶硅在温度场和热应力场作用下的蚀除量 ,并与实际放电切割蚀除量进行了对比, 结果表明 ,实际蚀除量近似等于模拟得到的温度场与热应力场蚀除量之和 ,验证了对单晶硅电火花加工 蚀除机理所作假设的正确性 。 关键词 :单晶硅 ; 电火花 ;蚀除机理 ;有限元 ( ) 中图分类号 : T G66 1 　　　文章编号 :1004 —132X 20 10 07 —0847 —05 Study and FEM Analysis on Discharge Erosion Mechanism of Monocrystall ine Sil icon Li J ian 　Liu Zhido ng 　Qiu Mingbo 　Tian Zon gj un 　Wang Wei N anj ing U niver sit y of A eronautics and A st ronautics , N anj ing , 2 100 16 Abstract :A ssump tion of ero sion mechani sm of EDM on monocry st alline silico n wa s p ropo sed . It wa s co n sidered t hat t her mal st re ss p layed t he leadin g role durin g t he ero sio n p roce ss. Di schar ge mo del of single p ul se wa s e st abli shed on W EDM , t he t emp erat ure fiel d and t he t her mal st re ss fiel d of single - p ul se di schar ge co ndition wa s analyzed ba sed on finit e element met ho d . Theoretical amount of ero sion of t he silicon wa s calculat ed un der t he t emp erat ure fiel d an d t her mal st re ss fiel d , and wa s co m p ared wit h t he act ual amount of ero sion in t e st s. Re sult s show t hat ero sio n p roce ss of t he monocry s t alline silicon EDM can be de scribed by t hi s a ssump tion of ero sion mechani sm . Key words :mo nocry st alline silicon ; elect ric di schar ge machining ( EDM) ; ero sion mechani sm ; fi nit e element ( ) 0 　引言