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真空系统的组成 12.1真空系统的形式 真空系统是由真空容器和获得真空、测量真空、控制真空等组件组成。 一个较完善的真空系统由真空室、所需的真空泵或真空机组、真空测量装置、连接导管、真空阀门、捕集器、其他真空元件及电气控制系统构成。，经过精心组装而成的。 真空系统的分类 按工作压力分： 1、粗真空系统（工作压力大于1330Pa）；2、低真空系统（工作压力在1330~0.13Pa）；3、高真空系统（工作压力在0.13~1.3×10-6Pa）；4、超高真空系统（工作压力在1.3×10-6~1.3×10-10Pa）；5、极高真空系统（工作压力低于1.3×10-10Pa）。 按真空系统所要求的清洁程度分： 1、有油真空系统（真空室有油蒸汽污染）；2、无油真空系统（真空室无油蒸汽污染） 12.2真空机组 真空机组是将真空泵与相应的真空元件按其性能要求组合起来构成的油气装置。其特点是结构紧凑，安装方便。 真空抽气机组可以分为低真空抽气机组、中真空机组、高真空机组、超高真空机组、无油真空机组等。真空机组的名称以主泵命名。 （1）低真空抽气机组 低真空抽气机组的主要特点是工作压力高、排气量大，但油速比高真空机组低。多用于真空室的粗抽以及放气量很大、工作压力又高的真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气（钢水处理）等装置中。 地真空抽气机组的主泵常用往复式真空泵、油封式机械泵、干式机械泵、水喷射泵、水蒸汽喷射泵、水环泵，分子筛吸附泵、湿式罗茨泵等直排大气真空泵，使用低真空抽气机组，还需要根据被抽气体清洁程度、湿度或其他特殊要求，配置必要的除尘器、水气分离器，油水分离器、干燥阱的部件。 油封机械泵机组抽出可凝性气体的措施 油封机械泵机组不适于抽出含有大量水蒸气的气体。水蒸气在压缩过程中会凝结成水滴，并与泵油混合形成悬浮液，破坏泵的抽气性能，使泵的真空度下降。 一般采取的措施有：使用带有气镇装置的油封机械泵那个，并使泵的工作温度控制在75~90℃之间，以减少气镇阀负担；在机组中安装水气分离器或油水分离装置，将混有水的机械泵油进行处理，处理过的油再进入泵中使用；使用各种干燥吸附剂做成补集阱吸收水蒸气；使用各种冷凝器或冷阱，不仅能有效的吸附水蒸气，同时还可阻挡机械泵向真空室的反流。 常用机组形式 图为有挡油阱的低真空机组。双击水环泵和大气喷射泵串联组成的机组极限压力1300Pa。工作时，先开动水环泵，以获得大气喷射泵所需的预压力，使大气喷射泵的进气口与出气口之间有压力差，大气便通过喷射进入泵内形成高速运动气流，将被抽气体吸入，经扩压器被水环泵排走。 该机组适用于真空蒸发、真空浓缩、真空浸渍、真空干燥、真空冷冻等工艺过程 （2）中真空抽气机组 中真空抽气机组常用的主泵有油增压泵、罗茨泵（机械增压泵）等机组适用于需要大抽速和获得真空的各种真空系统中。可广泛用于镀膜机、真空冶炼、真空热处理、化工、医疗、‘电工、焊接等行业。 （a）罗茨泵（机械增压泵）+油封机械泵机组 图为以罗茨泵为主泵，油封机械泵为前级泵的中真空获得设备，整套机组安置在一个机架上，结构紧凑，使用方便。 （b）罗茨泵+水环泵机组 图为罗茨泵+水环泵机组，他适合抽出含有大量水蒸气的气体，如真空浓缩、真空干燥，特备适宜于弱酸性气体及含有少量细微粉尘气体的抽除。 （c）双罗茨泵为主泵的中真空机组 为了提高真空机组的抽气性能，达到较低的极限压力和改善在地入口压力时的抽速特性及对大型真空机组配用较小规格的前级泵，可以组成由两个罗茨泵串联作为主泵的三级抽气机组。如上两图所示 右图为双级罗茨泵和一级水环泵（水环泵的极限压力p0= 6700Pa）级气镇式油封机械泵联合机组，极限压力可达 10-2Pa。当需要大量抽除水蒸气时，关闭阀门7，用水环泵做粗抽泵和前级泵，当水蒸气分压到300~1300 Pa后，关闭阀5，打开阀7，用气镇式油封机械泵联合机组做前级泵。 （3）高真空抽气机组 高真空抽气机组工作于分子流状态下，与低真空机组相比，其特点是工作压力较低（10-2~10-6Pa）、排气量小、抽速大、机组的主泵通常为扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛升华泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作，因此需要配置与丑泵和前级泵，有些扩散泵高真空抽气机组还配有前几维持泵或贮气罐，以防止气压波动，改善机组性能。 （1）预抽泵。预抽泵（初抽泵）主要用来抽出真空室内的大量气体，使真空室内的气体压力由大气压力降到主泵能够启动工作时的真空度，因此，要求预抽泵所达到的压力小于主泵的启动工作压力，机组所选用预抽泵的抽速大小由粗抽时间决定。为了提高真空机组的利用率，预抽泵可以兼做前级泵用，两种不同抽气功能直接靠真空阀门来分隔和切换。 （2）维持泵。由于扩散泵和油增压泵启动时间长，在周期性操作的真空设备中，当