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- 2017-08-08 发布于安徽
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9 6 Vol . 9 , No . 6
2 0 0 1 1 2 OPTICS AND PRECISION ENGINEERING Dec . , 2 0 0 1
1004924X( 200 1)
唐祯安, 王立鼎
( 大连理工大学, 辽宁大连 116023)
: ,
, ,
,
: 微尺度; 纳米材料; 纳米电子学; 介观物理学; 细观力学; 微尺度传热学
: T B383 : A
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1 引 言
100m ,
20 80 , 0. 1m nm
( M EM S)
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