热场和真空对拉晶的影响.docVIP

热场和真空对拉晶的影响 ? ? ?? 直拉系统有加热器、保温系统? 支持机构、三瓣锅等组成。热系统的高矮、大小、厚簿不同，温度大小就会产生差异。用温度梯度从数量上描述温度的分布情况。 ? ?? 好的热系统配置能够拉出质量良好的棒子和节省用电，降低能耗。相反有的热场拉出的是有缺陷的棒子甚至是多晶。所以现在实际生产中如何调整出良好的热场是技术人员的基本要求。 ? ???? 加热器是整个热系统的重要部件，因此了解加热器的温度分部情况对热场分布很重要。 如图所示 ? ? ? 从图中可以看出加热器中部温度最高，向上和向下逐渐减小，它的变化率为纵向温度梯度。加热器径向温度内表面，中心温度最低，靠近加热 器?? 边缘逐渐变高，它的变化率为径向梯度。 ? ??? 单晶生长中，热场中存在着固液两种形态，所以固态的径纵梯度和液态的径纵梯度都不同。但是实际拉制中考虑生长界面的温度梯度。 ? ?? 整个单晶生长界面变化说明，结晶界面的温度梯度有大于零，相对等于与零，到做后的小与零。从断线后提出的盖子可以直观判定，比如头部提出的盖子界面凸向熔体，尾部则相反。如下图所示：  ? ????? 一个热系统的热场分布要： ??? （ 1）??? ????? （2）??? ? ???? 提高生长界面的纵向温度梯度可以调整盖距来调整，如降低保温罩的高度，需