基于MEMS技术的倾角传感器的研制.pdf

1428 计算机测量与控制.2006.14(10) 智能仪表与传感器 ComputerMeasurement Control 文章编号:1671一4598(2006)10一1428一03 中圈分类号:TP273 文献标识码 ;A 基于MEMS技术的倾角传感器的研制 毛 袱 (西北工业大学 计算机学院，陕西 西安 710072) 摘要:倾角传感器可广泛应用于工业自动化、工程机械、医疗设备等领域，基于MEMS技术和单片机技术研制的倾角传感器，具 有7段LCD显示和标准RS-485通讯接口，体积小、功耗低，既可作为检测仪表使用，也可作为测控单元连接到现场总线实现联网检 测，该传感器已投人实际应用，效果良好。 关键词:MEMSIC;倾角测量;MODBUS通讯协议;单片机 DevelopmentofTiltAngleSensorBasedonMEMSTechnology MaoQiang (SchoolofComputer,NorthwesternPolytechnicalUniversity,Xian710072) Abstract;Tiltsensorcanbeusedinautomation,engineeringmachinery,medicalequipment,etc.MakinguseofMEMSandMCU technologyatiltsensorwith7一segmentLCDandstandardRS一485communicationinterfaceisdeveloped,whichhasadvantageofsmall size,lowpower.Thissensorcanbeusedasastand一aloneinstrument,andalsobeusedasaunitlinkingtofield一bustorealizenetwork measure.Thissensorhasbeenputintopracticaluseandachievedbetterresults. Keywords:MEMSIC tiltanglemeasuremeng;MODBUSprotocol;MCU 0 引言 加速度计的输出仅给出了重力加速度在加速度计两个灵敏轴上 的分量输出，各分量大小与重力的关系为: 在建筑施工或道路铺修中，经常要对工程机械或机架装置 A,=9·sin(a) A,,=g·sin(角 进行调平校准，并且要对施工质量进行检测，这时遇到最多的 其中，A，和A，代表加速度计的两个轴上的分量输出，9是以 问题就是水平与倾斜的测量。如果能设计一种带数字显示及数 重力作为参考的加速度值，而a和a是倾斜角度，由反正弦函 字通讯接口的倾角传感器，用以代替基于水泡的各种水平尺等 数即可得到: 简陋工具，既可以安装到这些施工机械上用于 自动调平，也可 a=sin(A=/g) 月=sin-(A,/g) 以作为对施工质量进行检测的仪表，就正好适应了这种行业工 注意，对于那些大于600的倾斜角度，加速度计的输出变化量 作的需求。鉴于此，在进行倾角传感器的研制中，采用了基于 很小，这种正弦方程的特性使得基于水平位置，接