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基于微机电系统的振动能量采集器件设计分析.pdf
第45卷第9期 机械工程学报 V01．45NO．9
2009年9月 JOURNAL0FMECHANICALENGINEERINGSep． 2009
DoI：lO．3901／JME．2009．09．238
基于微机电系统的振动能量采集器件设计分析木
李林1郭隐彪1陈旭远2
(1．厦门大学机电工程系厦门361005：
2．厦门大学萨本栋微机电中心厦门361005)
摘要：微能量采集器中电容式采集器易与IC工艺集成，目前已知的传统电容式微能量采集器都需要外加电压，这在很大程
度上限制电容式微能量采集器的实际使用。针对该问题，基于微机电系统工艺，提出功函数原理电容式微能量采集器，给出
采用两种不同金属作为电容极板电极的采集器原理模型设计，并建立相应系统数学模型，计算大致悬臂梁长度的设置与范围，
使用有限元模拟软件ANSYS进行进一步分析与优化设计。在此理论基础上设计出的新型振动能量采集器，可克服传统电容
式微能量采集器需要外界提供电源这一缺点。
关键词：微能量采集器功函数微机电系统
中图分类号：TGl56
CollectorBasedonMEMS
and ofVibration
DesignAnalysis Energy
LILinlGUOYinbia01CHEN
Xuyuan2
ofMechanicalandElectrical
(1．Department Engineering，XiamenUniversity,Xiamen361005；
SahMicro—Electro—MechanicalResearch
Center,Xiamen
2．Pen-Tung Systems University,Xiamen361005)
source in
Abstract：Thetraditionalelectrostaticconvertersneed whichis difficultthe new
separatedvoltage very practice．A
converterthe workfunctionsis ofthe isbasedOil
electrostaticwith of converter
vibration-powered principle presented．Thedesign
kinds metalasthe ofthe math to
MEMS two ofdifferent electrode modelisestablished
technology,andadopts plates capacitor．The
the modelistestedandthe
determinethe ofcantileverbeam．Andwiththeaidof fini钯elementsoftware．this dimension
parameters
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