关于压电微型驱动器在微机电系统方面的应用总述..docVIP

关于压电微型驱动器在微机电系统方面的应用 冯盼盼 （上海大学 机械自动化学院 精密仪器及机械系 上海 ） 摘 要：为了更好的实现压电微型驱动器在微机电系统方向的应用，而进行的有关其结构、工作原理的探讨及其在社会科学领域等各方面的应用和最新进展等的研究。首先介绍了微机械技术的发展，然后说明了压电微型传感器的构造、工作原理以及微机电系统的相关信息，最后着重介绍压电微型驱动器与微机电系统相联系的若干应用，得出结论压电微型驱动器有着与微机电系统相匹配的结构及功能特性，有着广阔的发展前景。 关键词：压电微型驱动器；微机电系统；控制 Application about miniature piezoelectric drives in electromechanical systems FENG Pan-pan （School?of?Mechatronics?Engineering?and?Automation,?Shanghai?University,?Shanghai?200072,?China） Abstract: In order to better the piezoelectric micro drive in the direction of micro-electromechanical systems, and explore about its structur