压阻式压力传感器43059..docVIP

一．实验目的 了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理与方法。 实验原理 自 动 检 测 与 控 制 实 验 报 告 实验名称：扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验 主要仪器、试剂及装置图 仪器：压力传感器模块、温度传感器模块、数显单元、直流稳压源+5V、 装置图： 实验原理图6.1 四．实验步骤和实验现象 五．实验结果及数据处理 （张贴原始记录卡） 表6.1 P(KP) 0.01 0.015 0.020 0.025 0.03 0.035 0.04 0.045 0.05 Uo2（mv） 10.2 14.5 18.4 20.9 25.7 27.8 32.5 35.9 36.8 P(KP) 0.055 0.06 0.065 0.07 0.075 0.08 0.085 0.09 0.095 Uo2（mv） 41.2 44.5 47.2 50.3 52.3 54.8 57.0 59.8 62.4 表6.2 P(KP) 0.01 0.015 0.02 0.025 0.03 0.035 0.04 0.045 0.05 Uo2（mv） 56.9 54.2 51.6 48.5 45.8 43.2 42.5 37.6 34.7 P(KP) 0.055 0.06 0.065 0.07 0.075 0.08 0.085 0.09 0.095 Uo2（mv） 30.5