本征氧化层对Si纳米板弹性模量的影响.pdfVIP

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 年 月 本征氧化层对 纳米板弹性模量的影响 王 静 黄庆安 于 虹 东南大学 教育部重点实验室南京 摘要采用能量法计算了表面不带氧化层的 纳米板和表面带不同厚度氧化层的 纳米板的杨氏模量 结果表 明表面带氧化层的 纳米板杨氏模量随着板厚度的减小而增加不带氧化层的则随之降低但当板厚度增加时 它们都趋于一个定值 板的杨氏模量随表面氧化层层数的增加而上升随着板厚度的减小氧化层的影响 起到了决定性的作用 当表面带氧化层的纳米板厚度为 时板的杨氏模量随着氧化层层数的增加从 上升到近 计算结果解释了目前报道的 纳米板杨氏模量尺度效应不一致的原因 关键词本征氧化纳米板弹性模量 中图分类号 文献标识码 文章编号 个 晶胞并沿厚度方向进行计算 设 晶格常数为 引言 则计算单元的体积为 这种在厚度方向 上分离的计算方法也就为考虑表面氧化问题提供了 微机械加工的梁桥和板是微纳器件的基本 可行性 结构 杨氏模量是描述力学性能的基本参数 对于体 在 的晶胞中每个 原子有 个共价键连接