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退火温度对铝互连线热应力的影响.pdfVIP

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  • 2015-07-21 发布于重庆
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退火温度对铝互连线热应力的影响.pdf

    退火温度对铝互连线热应力的影响.pdf

    第 卷 增刊 半 导 体 学 报 ２７ 犞狅犾．２７ 犛狌 犾犲犿犲狀狋 　 　 　 　 　 　 狆狆 年 月 ， ２００６ １２ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犇犲犮．２００６ 退火温度对铝互连线热应力的影响 ， １ １ ２ ２ １ １ 吴月花 李志国 刘志民 吉 元 胡修振 廖京宁 　 　

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